Ertzetako eraztunak

Erdi ertzetako eraztunak erdieroaleen fabrikazio prozesu osoaren zati kritikoa dira, batez ere, plasma grabatzeko eta lurrun kimikoen gordailua barne (CVD). Ertzetako eraztunak erdieroale baten kanpoko perimetroa inguratzeko diseinatuta daude, energia modu uniformean banatzeko, prozesuaren egonkortasuna hobetzeko, obrearen errendimendua eta gailuaren fidagarritasuna hobetzeko. Gure ertzak, purutasun handiko lurrun kimikoen gordailutik silizio karburoa (CVD SIC) eta prozesu ingurune zorrotzak eraikitzen dira.

Gaiak plasmak oinarritutako prozesuetan sortzen dira, non energia uniformetasuna eta plasma distortsioa desagerrarazten dutenak, akatsak, prozesuaren deriva edo errendimendu galerak izateko arriskua sortzen du. Ertzek eraztunek arrisku hori gutxitzen dute obraren kanpoko perimetroaren inguruan energia-eremua ardatz hartuta. Edge eraztunak ogien kanpoko ertzetik kanpo daude eta ertz efektuak minimizatzen dituzten prozesuen oztopo eta gidari energetiko gisa jarduten dute, ogitxoaren ertza gehiegizko grabatuetatik babestu eta funtsezko uniformetasun osagarria entregatzen dute wafer gainazalean.

CVD sic-ren onura materialak:

Gure ertzak garbitasun handiko CVD SIC-tik fabrikatzen dira, prozesu-ingurune gogorretarako diseinatu eta diseinatuta dagoena. CVD SIC eroankortasun termikoa, indar mekaniko altua eta erresistentzia kimiko bikaina da. CVD SIC aukeratzeko material erdieroaleetarako aukera duten aplikazio materialak osatzen dituzte, iraunkortasuna, egonkortasuna eta kutsadura txikiko gaiak eskatzen dituztenak.

Garbitasun altua: CVD SIC-ek zero ezpurutasun hurbilak ditu, esan nahi du ez dela partikularik sortutako eta metalezko kutsadurarik ez duen nodo erdieroale aurreratuetan.

Egonkortasun termikoa: materialak dimentsioaren egonkortasuna mantentzen du tenperatura altuetan, funtsezkoa da bere plasma posizioan jartzeko modu egokia.

Inertasun kimikoa: gas korrosiboak dira, esaterako, fluoroa edo kloroa plasma-giroan eta CVD prozesuetan erabiltzen direnak.

Indar mekanikoa: CVD SICk zikloaren eta higadurari aurre egin diezaioke ziklo luzeko denbora epeetan, bizitza maximoa bermatuz eta mantentze kostuak gutxitzeko.

Ertzaren eraztun bakoitza pertsonalizatutako diseinua da, prozesuaren ganberaren dimentsio geometrikoetara eta obraren tamainaren neurriak hartzeko; normalean 200mm edo 300mm. Diseinuaren tolerantziak oso ondo hartzen dira ertza eraztuna lehendik dagoen prozesuaren moduluan erabil daitekeela ziurtatzeko. Neurrira egindako geometriak eta gainazaleko akaberak eskuragarri daude OEM eskakizunak edo tresnen konfigurazioak betetzeko.