Wafer ertza ehotzeko chuck

Wafer Edge Artezketa Semikorioa Chuck erdieroaleen fabrikazioan zehar egindako wafer ertz artezteko prozesurako egindako zeramikazko zati bat da. Zeramika garbitasun handiko, alumina zuria (aloka) da, indar mekanikoarekin, erresistentzia kimikoarekin eta dimentsioaren egonkortasunarekin, wafer artezteko prozesua laguntzeko. Teknologia berriek uretako diametro handiagoak eta egitura delikatuagoak behar dituztenez, gailuetan, Wafer ertz artezketa funtsezkoa da orain ertz txipa, mikro-cracking eta etekinak prebenitzeko. ALUMINA Zeramikazko Artezteko Chuck-ek fabrikazio eskakizun zorrotzak betetzeko oinarri finkoa eskaintzen du.

Alumina zeramikaeraikuntza material gisa erabiltzen da, propietate fisiko, kimiko eta termiko izugarriak direla eta. Alumina zuriak gogortasun nabarmena du diamantearekin soilik, MOHS gogortasun eskalan handiagoa dela eta, hau da, ehotzeko ehotzea ahalbidetzen dutenak, erabilera errepikakorrarekin aurreikusitako etorkizunean. Aluminaren indar mekaniko handia ikusita, ogitegia modu seguruan hartu eta eutsi daiteke, eta aluminiaren zurruntasunak ez du desitxuratzen edo deformaziorik onartzen zatiari aplikatutako karga dagoenean. Hori ikusita, alumina aukera bikaina da, zehaztasuna eta iraunkortasuna behar diren lanabesak ekoizteko eta onartzen direnak.

Egonkortasun termikoa ere alumina zeramikaren ezaugarri bereizgarria da. 2000 ºC baino handiagoa eta shock termikoaren egonkortasuna ditu, marruskadura berogailura edo tenperatura aldaketak gerta daitezkeen baldintzetan exekutatu daiteke. Arrastatze indarrak sendo jarraitzen du ertzean artezketa lerrokatzea etengabe mantentzeko. Aluminaren eroankortasun termiko baxuak ez du tokiko berogailua ahalbidetzen ogiak nahikoa berotzeko ogitartekoaren osotasunaren konpromisoa hartzeko, subjektuen erdieroale delikatuak prozesatzeko.

Ikuspegi kimiko batetik, Alumina Zeramikak azido, alkalis eta erdieroaleen prozesatzeko plasma inguruneak ditu erreakzio gutxi. Jarraipen esplizitu gabe degradatu ahal izango duten lanabes metalikoek ez bezala, alumina zeramika ez dute inmunikazioa da egunero zerbitzu ziklo horien aurrean erdieroaleen prozesamenduan. Inertasun horrek ogien azaleraren kutsadura zero ziurtatuko du eta prozesuaren garbitasuna mantenduko du edozein errendimendu galera mugatzen duen bitartean.

Gaur egungo erdieroaleen fabrikazioan, ertz ehotzeko prozesua fatxada anitzekoa da: ondorengo prozesatzerakoan prestatzen du eta, gainera, garraio segurua, manipulazioa eta litografia eta grabaketa tresna aurreratuenetara bultzatzen du. Honetan, Wafer ertza ehotzeko chuck-a Wafer segurtasunez lotzeko puzzlearen pieza garrantzitsua da, zehaztasunez edukitzea eta zuzenean laguntzen du fidagarritasun eta produktuen errendimendua. Alumina zeramikazko inbertsioarekin, denbora aurrezten da horrelako aktibo baten iraupen luzatua edukitzea, piezen kostuak murrizteko eta ekipoen eraginkortasuna (OEE) maximizatzeko.

Wafer ertzak ehotzeko ehotzeaalumina zeramikaMaterial sofistikatuaren zientzia eta doitasun ingeniaritza abantaila guztiak adierazten ditu. Gogortasunaren, higaduraren erresistentziaren, egonkortasun termikoaren eta inertasun kimikoen ezaugarriak azaltzen ditu, Wafer Fabrikazio Prozesu erdiezelorentzat. Errendimendu sendoak wafer ertzaren kalitate fidagarria, etekin ona eta ekipo hedatuen bizitza ekar ditzake. Zehaztasun eta eraginkortasunarekin konprometitutako erdieroaleen fabrikatzaileentzat, alumina wafer ertz artezketa chuck da irtenbidea da.