SiC estaldura duten obleak

SiC estaldura duten Semicorex Wafer Carriers-ek egonkortasun termiko eta eroankortasun bikainak erakusten dituzte, ezinbestekoa da lurrun-deposizio kimikoko (CVD) prozesuetan tenperatura koherenteak mantentzeko. Horrek beroaren banaketa uniformea ​​bermatzen du substratuan zehar, eta hori ezinbestekoa da kalitate handiko film mehe eta estalduraren ezaugarriak lortzeko.

SiC estaldura duten obleak estandar zorrotzekin fabrikatzen dira, lodiera uniformea ​​eta gainazaleko leuntasuna bermatuz. Zehaztasun hori ezinbestekoa da oblea anitzetan jalkitze-tasa eta film-propietate koherenteak lortzeko.

SiC estaldurak hesi iragazgaitz gisa jarduten du, suszeptoretik ezpurutasunen hedapena saihestuz. Horrek kutsadura arriskua murrizten du, eta hori funtsezkoa da purutasun handiko gailu erdieroaleak ekoizteko. SiC estaldura duten Semicorex Wafer Carriers-en iraunkortasunak suszeptoreen ordezkapenaren maiztasuna murrizten du, mantentze-kostuak txikiagoak eta erdieroaleen fabrikazio-eragiketetan geldialdi-denbora txikiagotuz.

SiC estaldura duten Semicorex Wafer Carriers pertsonalizatu egin daitezke prozesuko eskakizun zehatzak betetzeko, tamaina, forma eta estalduraren lodieraren aldaerak barne. Malgutasun honek suszeptorearen optimizazioa ahalbidetzen du, erdieroaleen fabrikazio prozesu desberdinen eskakizun bereziekin bat etortzeko. Pertsonalizazio aukerek aplikazio espezializatuetarako egokitutako susceptor diseinuak garatzea ahalbidetzen dute, hala nola, bolumen handiko fabrikazioa edo ikerketa eta garapena, erabilera-kasu zehatzetarako errendimendu optimoa bermatuz.