Teflon kaseteak

Teflon semiclon kaseteak errendimendu handiko wafer eramaileak dira bereziki diseinatutako ingurune kimiko zorrotzak erabiltzeko, garbitasuna, erresistentzia kimikoa eta egonkortasun termikoa ezinbestekoak direnean erabiltzeko. Purutasun handiko polytetrafluoroethilene (PTFE) eginda, kasete hauek oso erabiliak dira erdieroaleen fabrikazioan, garbiketa hezeetan, garbiketa kimikoetan eta produktu kimiko oso erasokorreko esposizioa errutina da. Izaera ez-erreaktiboak ezin hobeak dira Silicon Wafers, beirazko panelak eta beste zehaztasun osagaiak bezalako substratu delikatuak manipulatzeko, kutsadura edo partikulak prozesuan sartu gabe.

Erretinezko fabrikazioko hainbat prozesatuetan, hala nola, litografia, grabaketa eta ioi inplantazioa, kaseteak zereginak betetzen dituzte gailu desberdinen artean ogiak garraiatzeko eta transferitzeko. Prozesu ekipamendu ezberdinek kasetetarako interfaze eskakizun desberdinak izan ditzakete, ogitartekoak zehaztasunez jaso eta jarri ahal izateko.

Materialaren eta diseinuaren ikuspegitik, beroarekiko erresistenteak diren materialak, propietate mekaniko bikainak dituzte, dimentsioaren egonkortasuna, eta iraunkorrak, estatizatuak, prezipitazio baxuak eta birziklagarriak dira orokorrean. Wafer tamaina desberdinak, prozesuko nodoak eta prozesuak material desberdinak erabiltzen dituzte. Material orokorrak PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP eta abar dira.

Teflon kaseteek inguruneetan erresistentzia kimiko handiagoa eskaintzen dute azido hidrofluorikoa, azido nitrikoa, azido sulfurikoa eta beste korrosibo sendoak erabiliz. Polipropilenoa edo altzairu herdoilgaitza bezalako material konbentzionalak ez bezala, PTFEk ez du degradatzen; ez da puzten; lixibek ez dute substantzirik bainu kimiko gogorretan. Errendimendua, beraz, epe luzeetan bermatzen da eta, beraz, kaseteen fidagarritasuna da ekoizpen handiko lineetarako eta ingurune ultra-garbiengatik. Bere sendotasunak mantentze-beharrak eta ordezko maiztasuna txikiagoa esan nahi du, eta, beraz, epe luzeko funtzionamendu kostuak murrizten dira.

Teflon kaseteak egonkortasun termiko oso altua erakusten du. -200 ºC-tik + 260 ºC-ko tenperatura erraz jasan dezakete, kriogenikoetarako eta tenperatura handiko prozesuetarako aplikagarria. Lehortzeko ganbera beroetan edo bainu kimiko hotzetan ere, kaseteek ez dute egiturazko indarra galtzen; Ez dute okertu edo pitzatzen, ogiak prozesatzean segurtasunez mantentzen direla ziurtatuz. Tenperaturaren erresilientzia horrek nabarmen kontrolatzen du kontrol eta uniformetasuna prozesatzeko, funtsezkoak dira erdieroaleentzat eta MEMS fabrikaziorako.

Teflon kaseteen ezaugarri garrantzitsu bat da bere gainazal inerta, ez makila. PTFE berez ez du partikulak eta hondakin kimikoen adsortzioak onartzen, beraz, garbitzeko arriskuak murrizten ditu garbitzeko inguruneetan. Honek gainazal leunaren akabera leuna izan behar du, beraz, erraz eta lehortzeko aukera ematen du, beraz, emaitza garbiagoak eta zikloaren denbora azkarragoak. Erdieroaleen prozesamenduan, kutsatzaile mikroskopikoek ere akatsak izan ditzaketen akatsak, garbitasun eta inertzi kimikoen maila derrigorrezkoa da.

Kasete bakoitza tamaina estuko tolerantziketetan egina da, nahiz eta lerrokadura egonkorra bermatuz eta likidatuta kokatzen diren bitartean. Erraz diseinatutako formularioak fluxu eta drainatze kimiko bizkorrak laguntzen ditu, truke kimikoko tasak azkartzen dituena eta garbiketa edo grabazio uniformetasuna hobetzen dituena.  Kaseteak tamaina estandarretan eskuragarri daude 4 hazbeteko, 6 hazbeteko eta 8 hazbeteko ogitartekoentzat, pertsonalizazio aukerak eskuragarri dauden azpi-dimentsioetarako, zirrikituaren zenbatekoak eta manipulazio baldintzak egokitzeko.

Aulki busti automatizatuekin eta wafer robotikoko manipulazio sistemekin bateragarritasunerako diseinatua, Teflon kaseteak erraz integratzen dira erdieroaleen ekoizpen konfigurazio gehienetan. Haien eraikuntza sendoa eta garbiketa-kalifikazioa ISO ziurtagirien inguruneen eskaera zorrotzak betetzen dituzte. Kasu guztiek ikuskapen sakona egiten dute eta ur ultra-puruan aurrez garbitzen dira mikroelektronika aurreratuen ekoizpenerako beharrezkoak diren garbitasun estandarrak betetzeko. Konformazio ziurtagiriak eta materialen trazabilitate osoa eman daitezke kalitatea ziurtatzeko protokoloak betetzeko.