TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez.
Tantalo karburoa (TaC) tantalioz eta karbonoz osatutako konposatu bat da. Eroankortasun elektriko metalikoa du eta aparteko urtze-puntu altua du, eta bere indarra, gogortasuna eta beroa eta higadura erresistentziagatik ezaguna den zeramikazko material erregogorra da. Tantalo Karburoen urtze-puntuak 3880 °C inguruko gailurra du purutasunaren arabera eta konposatu bitarren artean urtze-puntu handienetako bat du. Horrek alternatiba erakargarria bihurtzen du tenperatura-eskaerek MOCVD eta LPE bezalako prozesu epitaxial konposatuetan erabiltzen diren errendimendu-gaitasunak gainditzen dituztenean.
Semicorex TaC Coating-ren material datuak
Proiektuak |
Parametroak |
Dentsitatea |
14,3 (gm/cm³) |
Emisibotasuna |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Gogortasuna (HK) |
2000 |
Erresistentzia (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Egonkortasun termikoa |
<2500℃ |
Grafitoaren Dimentsio Aldaketa |
-10~-20um (erreferentzia-balioa) |
Estalduraren lodiera |
≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
|
|
Aurrekoak balio tipikoak dira |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) labeetan erabiltzen den osagai erabakigarria da erdieroale epitaxial (epi) prozesatzeko. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate erdieroaleen fabrikazioaren eskakizun zorrotzei erantzuteko diseinatutako punta-puntako irtenbidea da, batez ere epitaxial (epi) prozesatzeko fasean. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Coated Guide Ring, SiC (siliziozko karburoa) kristal bakarreko hazteko labeetan berrikuntzaren gailurra. Erdieroaleen industriaren eskakizun zorrotzak asetzeko zorrotz diseinatuta, gida-eraztun honek zure kristalen hazkuntza-prozesuak zehaztasun eta fidagarritasun paregabearekin birdefinituko dituela agintzen du.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex punta-puntako TaC Coated Graphite Susceptor, zure obleen prozesu epitaxiala eraginkortasun eta zehaztasun maila berrietara igotzeko diseinatutako osagai iraultzailea. Espezializazio paregabearekin egina eta puntako teknologia erabiliz, Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor erdieroaleen fabrikazioaren eskakizun zorrotzei erantzuteko diseinatuta dago.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex-ek kalitate handiko tantalio-karburoa estalitako grafito-piezak eskaintzen ditu zerbitzu pertsonalizatuarekin. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex-ek tantalio karburoa estalitako grafito susceptor pertsonalizatua eskaintzen du. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta