TaC estalitako dutxa-burua

Semicorex TaC estalitako dutxa-burua erdieroaleen industrian erabiltzen den ekipamendu aurreratu bat da. CVD prozesuan funtsezko osagaia da, non film meheak oble erdieroaleetan metatzen diren. TaC estalitako dutxa-buruaren funtzio nagusia gas erreaktiboak uniformeki banatzea da obleen gainazalean, estaldura uniformea ​​eta filmaren kalitate optimoa bermatuz.

Tantalio karburoa (TaC) aukeratzen da dutxa-burua estaltzeko, bere propietate apartekoengatik. TaC bere muturreko gogortasunagatik, urtze-puntu altuagatik eta egonkortasun termiko eta kimiko bikainagatik da ezaguna. Propietate horiei esker, TaC estalitako dutxa-burua ezin hobea da PECVD prozesuaren baldintza gogorrak jasateko, non tenperatura altuak eta gas erreaktiboak nagusi diren. TaC estaldurak dutxa-buruaren iraunkortasuna eta iraupena nabarmen hobetzen ditu, maiz ordezkatzeko eta mantentzeko beharra murrizten du.

TaC estalitako dutxa-buruaren diseinua zorrotz diseinatu da gas-fluxua eta banaketa optimizatzeko. Zehazki jarritako zulo ugari ditu, zeinen bidez prozesuko gasak erreakzio-ganbaran sartzen diren. Gasen banaketa uniformea ​​funtsezkoa da obleen gainazalean film uniformea ​​lortzeko. Gas-fluxuaren edozein irregulartasunak film mehean akatsak sor ditzake, eta gailu erdieroaleen errendimenduari kalte egiten diote.

Semicorex TaC estalitako dutxa-burua erdieroaleen fabrikazio prozesuan ezinbesteko osagaia da, errendimendu eta fidagarritasun paregabeak eskaintzen ditu. Bere propietate apartekoek, tantalio karburozko estalduratik eratorritakoak, PECVD prozesuko baldintza gogorren aurrean iraunkortasuna eta erresistentzia bermatzen dute. Bere diseinu zehatzarekin eta funtzionaltasun handiagoarekin, TaC estalitako dutxa-buruak funtsezko eginkizuna du kalitate handiko film meheen deposizioa lortzeko, azken finean, gailu erdieroale aurreratuen ekoizpenean laguntzen. Industriak eboluzionatzen duen heinean, osagai berritzaile horien garrantzia hazten joango da, erdieroaleen teknologiaren hurrengo belaunaldiari bidea irekiz.