TaC estalitako Seal Ring

Semicorex TaC estalitako zigilu-eraztunak inertetasun bikaina erakusten du erdieroaleen prozesuetan erabiltzen diren gas eta produktu kimiko korrosiboen sorta zabalarekin, plasma bidezko grabazio-kimikak barne (adibidez, fluoroa, kloroa, bromoa), dopatzaileak (adibidez, boroa, fosforoa, artsenikoa) eta erasokorrak. garbiketa-agenteak. Inertetasun horrek zigiluaren degradazioa eta prozesu-ganbera sentikorrak kutsatzea ekiditen du.

Eta 3800 °C-tik gorako urtze-puntuarekin, TaC estalitako zigilu-eraztunak bere egitura-osotasuna eta erresistentzia mekanikoa mantentzen ditu obleak prozesatzeko garaian aurkitutako tenperatura altuetan. Horrek zigilatzeko errendimendu fidagarria bermatzen du tenperatura altuko errekuzitze, deposizio eta grabatze prozesuetan.

TaC estalitako Seal Ring-en muturreko gogortasuna eta marruskadura koefiziente baxuak higadura, marradura eta urradurarako erresistentzia paregabea eskaintzen dute. Hau funtsezkoa da zigilatzeko aplikazio dinamikoetan, non errepikatutako mugimenduak edo obleekin eta beste osagai batzuekin kontaktuak partikulak sortzea eta zigiluaren hutsegitea ekar dezaketen.

TaC estalitako Zigilu Eraztunak desgaste-tasa oso baxuak ditu, tenperatura altuetan ere, huts handiko aplikazioetarako aproposa da. Honek prozesuaren garbitasuna bermatzen du eta nahi ez diren kutsatzaileak obleen gainazal sentikorren gainean metatzea eragozten du.

Onura espezifikoak erdieroaleen aplikazioetan:

Zigiluaren bizitza luzatua:TaC estalitako zigilu-eraztunak zigiluen iraupena nabarmen handitzen du, eraso kimiko, degradazio termiko eta higadura mekanikoarekiko erresistentzia handiagoa eskainiz. Horrek zigiluen ordezkapenen maiztasuna murrizten du, geldialdi-denbora eta mantentze-kostuak gutxituz.

Prozesuaren etekina eta oblearen kalitatea hobetzea:TaC estalitako Zigilu Eraztunaren izaera geldoak partikulen sorrera eta kutsadura murrizten ditu, prozesu-etekin handiagoak eta obleen kalitatea hobetzen du. Hau funtsezkoa da errendimendu handiko gailu erdieroaleak ekoizteko akatsen tolerantzia zorrotzak dituztenak.

Ekipoen funtzionamendu-denbora eta produktibitate hobetua:Zigiluen iraupen luzeagoek eta mantentze-eskakizun murrizteek ekipoen funtzionamendu-denbora eta produktibitate orokorra areagotzen laguntzen dute. Hau funtsezkoa da irteera maximizatzeko eta bolumen handiko erdieroaleen fabrikazioaren eskakizunak asetzeko.