TaC estalitako Halfmoon

Semicorex TaC estalitako Halfmoon-ek bere egitura-osotasuna eta inertetasun kimikoa mantentzen ditu SiC epitaxiarako beharrezkoak diren tenperatura altuetan (2200 °C arte). Horrek errendimendu termiko koherentea bermatzen du eta prozesuko gasekin edo iturri-materialekin nahi ez diren erreakzioak saihesten ditu. Eta  eroankortasun termikoa eta emisibitatea optimizatzeko diseinatu daiteke, beroaren banaketa uniformea ​​bultzatuz suszeptoreen gainazalean. Honek obleen tenperatura-profil homogeneoagoak eta geruza epitaxialaren lodieran eta dopin-kontzentrazioan uniformetasuna hobetzen ditu. Gainera, TaC estalitako Halfmoon-en hedapen termikoaren koefizientea SiC-renarekin bat etor dadin egokitu daiteke, berotze- eta hozte-zikloetan estres termikoa gutxituz. Honek obleen makurdura eta akatsak sortzeko arriskua murrizten ditu, gailuaren etekin handiagoak lortzen lagunduz.

TaC estalitako Halfmoon-ek nabarmen luzatzen du grafitoaren suszeptoreen iraupena estali gabeko/SiC estalitako alternatiben aldean. SiC deposizioaren eta degradazio termikoaren aurkako erresistentzia hobeak garbiketa-zikloen eta ordezkapenen maiztasuna murrizten du, fabrikazio-kostu orokorrak murriztuz.

SiC gailuen errendimendurako abantailak:

Gailuaren fidagarritasuna eta errendimendua hobetua:TaC estalitako Halfmoon-en hazitako geruza epitaxialetan uniformetasun hobeak eta akatsen dentsitate murriztuak gailuaren etekin handiagoak eta errendimendu hobeak eragiten ditu matxura-tentsioari, erresistentziari eta aldatze-abiadurari dagokionez.

Bolumen handiko fabrikaziorako irtenbide errentagarria:Bizi-iraupen luzeak, mantentze-eskakizunak murrizteak eta obleen kalitatea hobetzeak SiC potentzia-gailuen fabrikazio-prozesu errentagarriagoa lortzen laguntzen dute.

Semicorex TaC estalitako Halfmoon-ek paper garrantzitsua betetzen du SiC epitaxia aurreratzean, materialen bateragarritasunari, kudeaketa termikoari eta prozesuen kutsadurari lotutako erronkei aurre eginez. Honek kalitate handiagoko SiC obleak ekoiztea ahalbidetzen du, ibilgailu elektrikoetan, energia berriztagarrietan eta beste industria zorrotzetan aplikazioetarako potentzia-gailu elektroniko eraginkorragoak eta fidagarriagoak lortzeko.