Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor erdieroaleen fabrikatzaileentzako azken aukera da kalitate handiko eramaile baten bila, errendimendu eta iraunkortasun handiagoa eskaintzeko. Bere material aurreratuak profil termikoa eta gas-fluxu laminarraren eredua bermatzen ditu, kalitate handiko obleak emanez.
Gure silizio-karburoa grafito-substratua MOCVD susceptor oso purua da, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, produktuaren uniformetasuna eta koherentzia bermatuz. Era berean, oso erresistentea da korrosioarekiko, gainazal trinkoa eta partikula finak dituena, azido, alkali, gatz eta erreaktibo organikoekiko erresistentea da. Bere tenperatura altuko oxidazio-erresistentziak egonkortasuna bermatzen du tenperatura altuetan 1600 °C-raino.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur gure Silizio Karburo Grafito Substrate MOCVD Susceptor-ari buruz gehiago jakiteko.
Silizio Karburo Grafito Substratua MOCVD Susceptor-aren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
MOCVDrako SiC estalitako grafito susceptoraren ezaugarriak
- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-rainoko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea