SiC Paletak

Semicorex SiC paletak obleen "eramaileak" dira, eta obleak 1000 gradu Celsius baino beroago dauden labeetara eramaten dituzte. Hau da haien funtsezko abantaila: garbitasun handia, tenperatura altuko egonkortasuna, lagina muturreko inguruneetan garraiatzeko zurruntasun mekanikoa mantentzeko. Garbitasun handiko materialak eraginkorrak dira metalezko ezpurutasunei ostia kutsatzeari uzteko; tenperatura altuko egonkortasuna ere baisilizio karburoa, egonkortasun kimikoa mantenduko baitu oblea kutsatzea metalezko ezpurutasunak edo partikulak kanporatzea eragozten duten prozesatzeko tenperaturetan, oblearen etekin egonkorra bermatuz. Azkenik,arraun-kantileverere bateragarriak dira obleen transferentzia sistema integratuekin, gizakiekiko menpekotasuna are gehiago murriztuz eta errendimendua handituz.

SiC padelak eramailearen osagai bakarrak dira, bereziki tenperatura altuko oxidazioa eta difusioa bezalako prozesuetan, besteak beste, oblea erdieroaleak lote batean garraiatzeko eta integratzeko. Garbitasun handiarekin eginasilizio karburoa (SiC), SiC padelek egonkortasun termikoa, erresistentzia mekanikoa eta iraunkortasun kimikoa eskaintzen dituzte 1000 °C-ko tenperaturatik gorako garraio egonkorra bermatzeko. SiC Paddles obleak prozesatzeko beharrezkoak dira: substratu hauskorrak modu egokian maneiatu ahal izango direla bermatuko du, osotasuna eta koherentzia mantenduz oxidazio, difusio eta erretiro prozesu osoan zehar.

Sendoa eta fidagarria izateko diseinatuta, SiC Paddles ostia-ontziei edo oblei-pilei eusten dieten cantilever motako besoa da. Palak obleak onartzen ditu prozesu-ganberatik sartzen edo kentzen diren bitartean. Ohiko materialek tenperatura altu horietan huts egiten dute deformazio, deformazio edo degradazio kimikoen ondorioz. Silizio-karburoaren egonkortasun mekanikoa eta egitura-osotasunari esker, arraunari hainbat ziklo termiko bizirauteko aukera ematen diote forma edo funtzioa galdu gabe. Gaitasun hori garrantzitsua da labearen lerrokadura mantentzeko, obleak prozesuan zehar kaltetu ez daitezen eta geldialdi garestia gutxitzeko.

SiC Paddle-en egonkortasun termikoa oxidazio- eta difusio-prozesuetan agertu ohi diren gas erreaktiboekiko erresistentzia kimiko bikainarekin osatzen da (adibidez, oxigenoa, kloroa eta tenperatura altuan dauden beste espezie erasokorrak). Material asko suntsitu edo kutsatuko dira bai tenperatura altuak eta bai oxigenoaren eraginpean. Silizio karburoa kimikoki inertea da eta bere mikroegitura trinkoak erreakzio kimikoak ez direla gertatuko bermatzen du, arraunaren egituraren osotasuna eta ingurune garbia eskaintzen dizkio obleari. Ondorioz, kutsadura-arriskua ahalik eta txikiena da erdieroaleen fabrikatzaileentzat, prozesu-nodo aurreratuenetako batzuetan jarduten dutenentzat, zeinetan kutsamenen oligoelementuek ere gailuen errendimenduan aldaketa handiak eragin ditzaketen.

SiC Padelekin lotutako osotasun mekanikoak ere balio du manipulazio prozesuetan. Cantilever egitura-formak geruza-pilen pisuei eutsi diezaiekeen materiala behar du eta tolestu edo makurtzen ez den. Silizio karburoaren modulu oso altuak eta gogortasun oso altuak aintzat hartzen ditu behar den egitura-funtzio mekanikorako. SiC Paddle-k lautasuna eta egitura mantentzen ditu oblez kargatuta ere. Horrek esan nahi du ekoizpen-aldi luzeetan labearen eta haren baldintzak etengabe kontrolatzea.