MOCVDrako SiC estalitako plaka-eramaileak

Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVDrako kalitate handiko eramailea da erdieroaleen fabrikazio prozesuan erabiltzeko diseinatua. Bere purutasun handia, korrosioarekiko erresistentzia bikaina eta profil termikoa ere aukera bikaina da erdieroaleen fabrikazio-prozesuaren eskakizunei aurre egin diezaiekeen garraiolari bat bilatzen dutenentzat.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

MOCVDrako SiC estalitako plaka-eramaileek purutasun handia dute, eta bere propietateetan oso uniformea eta koherentea den garraiolari bat bilatzen dutenentzat aukera bikaina da.
MOCVDrako gure SiC estalitako plaka-eramaileak grafitoaren gaineko purutasun handiko silizio-karburozko estalduraz eginak, eta horrek oso erresistentea du 1600 °C-ko tenperatura altuetan oxidazioarekiko. Bere fabrikazioan erabilitako CVD lurrun-deposizio kimikoko prozesuak garbitasun handia eta korrosioarekiko erresistentzia bikaina bermatzen ditu. Korrosioarekiko erresistentea da, gainazal trinkoa eta partikula finak dituena, azido, alkali, gatz eta erreaktibo organikoekiko erresistentea da. Bere tenperatura altuko oxidazio-erresistentziak egonkortasuna bermatzen du tenperatura altuetan 1600 °C-raino.

MOCVDrako SiC estalitako plaka-eramaileen parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristal Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

MOCVDrako SiC estalitako grafito susceptoraren ezaugarriak

- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-rainoko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea