MOCVDrako Semicorex SiC estalitako grafito-oinarrizko susceptorak erdieroaleen industrian erabiltzen diren kalitate handiko eramaileak dira. Gure produktua kalitate handiko silizio karburoz diseinatuta dago, errendimendu bikaina eta iraupen luzeko iraunkortasuna eskaintzen dutenak. Eramaile hau aproposa da obleen txiparen geruza epitaxial bat hazteko prozesuan erabiltzeko.
Gure MOCVDrako SiC estalitako grafito-oinarrizko susceptorrek bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia dute, egonkortasun handia bermatzen baitu muturreko inguruneetan ere.
MOCVDrako SiC estalitako grafito-oinarrizko susceptor honen ezaugarriak nabarmenak dira. Garbitasun handiko silizio-karburozko estaldura batekin egina dago grafitoan, eta horrek oso erresistentea du 1600°C-ko tenperatura altuetan oxidazioarekiko. Bere fabrikazioan erabilitako CVD lurrun-deposizio kimikoko prozesuak garbitasun handia eta korrosioarekiko erresistentzia bikaina bermatzen ditu. Eramailearen gainazala trinkoa da, korrosioarekiko erresistentzia hobetzen duten partikula finekin, azido, alkali, gatz eta erreaktibo organikoekiko erresistentea eginez.
MOCVDrako gure SiC estalitako grafito-oinarrizko susceptor-ek profil termiko berdina bermatzen du, gas-fluxu laminarraren eredu onena bermatuz. Kutsadurak edo ezpurutasunak oblean zabaltzea ekiditen du, gela garbiko inguruneetan erabiltzeko aproposa da. Semicorex Txinan SiC Coated Graphite Susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile handi bat da, eta gure produktuek prezio abantaila ona dute. Erdieroaleen industrian epe luzerako bazkide izatea espero dugu.
MOCVDrako SiC Estalitako Grafito Base Susceptors-en parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
MOCVDrako SiC estalitako grafito susceptoraren ezaugarriak
- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-ra arteko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea