Ziur egon zaitezke gure fabrikatik MOCVD Ekipamendurako Erdieroaleen Wafer Carrier erostea. Erdieroaleen obleen eramaileak MOCVD ekipoen funtsezko osagaiak dira. Fabrikazio-prozesuan erdieroaleen obleak garraiatzeko eta babesteko erabiltzen dira. MOCVD Ekipamenduetarako obleen eramaile erdieroaleak purutasun handiko materialez eginda daude eta obleen osotasuna prozesatzeko garaian mantentzeko diseinatuta daude.
gure MOCVD ekipamendurako oble erdieroaleen eramaile erdieroaleen fabrikazio-prozesuaren funtsezko osagaia da. Garbitasun handiko grafitoz egina dago, siliziozko karburozko estaldurarekin CVD metodoaren bidez eta hainbat oblea egokitzeko diseinatuta dago. Garraiolariak hainbat onura eskaintzen ditu, besteak beste, etekina hobetzea, produktibitatea hobetzea, kutsadura murriztea, segurtasuna areagotzea eta kostu-eraginkortasuna. MOCVD Ekipamendurako Erdieroaleen Wafer Carrier fidagarri eta kalitate handiko baten bila bazabiltza, gure produktua irtenbide ezin hobea da.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur MOCVD Ekipamendurako gure Erdieroaleen Wafer Eramaileari buruz gehiago jakiteko.
MOCVD ekipamendurako oble erdieroalearen parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
MOCVDrako SiC estalitako grafito susceptoraren ezaugarriak
- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-ra arteko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea