Kuartzozko likido biltegiratze depositua

Erdialdeko kuartzozko likidoa Biltegiratzeko depositua erdieroaleentzako edukiontzi bat da, eta, non likido-manipulazioak materialen garbitasun eta egonkortasun maila aparteko maila behar du. Batez ere, depositu hau Wafer Garbiketa aplikazioetatik hondakinak edo hondar likidoak biltzeko erabiltzen da. Prozesuen produktibitatea eta kutsadura kontrola lortzeko eskerga da. Prozesu garbia garbian zehar, istripu erdieroaleak garbitzeko ur ultrapurearen bolumen handiak dakartza, garbiketa-amaieran likidoa hondatzen dutenak. Gainera, garbitu ondoren likidoa garbitu behar da, trazadura-ezpurutasun potentzialak dituelako edo hustubidetik jaitsi behar ez duten osagai kimiko baliotsuak dituelako. Hondakin likidoa ere bildu behar da estaldura-urratsak egiten direnean, hala nola aplikazio fotoresistikoak, non aparteko hondakinak edo hondakin kimikoak bildu behar diren. Horrela, kuartzozko likidoen biltegiratze deposituak bidalketa ezin hobeak ditu garbitasun handiko, bateragarritasun kimiko eta kutsatzaile txikiko propietateak emateko.

Depositua garbitasun handiko kuartzoz osatuta dago, azido sendoak, alkaliak eta disolbatzaileek aldiro erabiltzen dute garbiketa eta litografian. Kuartak ohiko edukiontzi bat den ala ez, piezak material likidoak ematen dizkio, bigarren mailako esposizio kutsatzaile, lixibiarik edo nahigabeko esposiziorik ez izateko. Kuartzozko likidoen biltegiratze deposituaren alderdi garrantzitsuenetako bat da lan-fluxu analitikoei eficondoctor fabrikatan, kuartzozko ontzi batean biltzen diren hondakin likidoak behera egin baitira, hala nola, ezintasun hautematea, kutsadura analisia eta birziklapen kimikoa. Quartz-en propietateen berezkoak izan ditzake, segurtasunez, ebaluazio bisuala izan dezake bere etengabeko inertasuna eta gardentasuna kontuan hartuta, bere egonkortasun termikoaz gain, deposituan dagoen edozein fluidoren tenperatura arintzeko edo fluidoan eragina izateko arriskurik gabe. Hori esanda, kuartzozko likidoen biltegiratze depositua hondakin bilketa eta epe laburreko biltegirako diseinatuta dago, transferitu edo tratatu aurretik.

Prozesuen kutsaduraren kontrolaren xehetasun guztiak, batez ere gailu aurreratuak fabrikatzeko nodoak txikitu egiten dira eta garbitasun parametroak zorrotzagoak dira. Kuartzozko likidoen biltegiratze deposituak fabrikatzaileen ustiatzaileak bermatzen ditu hondakinen kudeaketa ez dela bigarren mailako kutsaduraren iturri bihurtzen. Hondakinen garbiketa-soluzioak edo gehiegizko prozesuko likidoak edukiz, upstream eta beherako lan fluxuak baliozkoak ekiditen ditu. Gainera, deposituak iraunkortasunerako helburuak onartzen ditu, bildutako likidoak erreaktibo eta berrerabilpen erreaktiborako prozesatu baitaitezke, horrela, beste prozesu kimiko gutxiago eta ingurumen-karga gutxiago lortuz.

Ikuspegi praktiko batetik, kuartzozko likidoen biltegiratze deposituaren diseinuak erraz garbitzeko hardware eta kimiko kudeaketa sistemetan erraz sartu ahal izango du. Inprimakiaren faktorea lehendik dauden tresnen konfigurazioetara egokitu daiteke. Zehaztasun fabrikazio metodoak dimentsio biribilak ziurtatzen ditu eta barruko gainazal leunak erraz garraiatuko ditu eta likido guztiak zure erdieroaleen fabrika-ingurunean. Kuartzozko ez den kuartzozko egiturak kutsatzaileen xurgapena ekidingo du eta depositua garbitzea ahalbidetuko du, berriro erabiltzeko gai da, kontrolatutako ingurune kimikoetan kontrolatutako plastikozko edukiontzi konbentzionalak ez bezala, bolumen-eragiketa garrantzitsuetan.

Beheko lerroa, kuartzozko likidoen biltegiratze depositua bereziki diseinatuta dago erdieroaleen garbiketa eta estaldura aplikazio guztietan. Ahalik eta material garbitasunik onena sortuz, erresistentzia kimikoa eta kutsadura likidoa biltegiratze librea erdieroale-instalazio batean, Fabs-ek prozesua kutsatzea gutxira ez izateko modu eraginkorrean kontrolatzeko gai dira. Fab-ek depositua erabiltzen duen ala ez hondakin zuzeneko bilduma jasotzeko, erreaktiboen eta abar berreskuratzeko edo ezputatzeko azterketa jasotzeko, prozesuan urrats kritikoen historia jatorrizko egoeran geratzen da funtzionamendua arriskuan jarri gabe. Etekina ahalik eta gehien aprobetxatu nahi baduzu, minimizatu zure lan-prozesua egonkortasuna galtzera, eta azpiproduktuen kudeaketa kimikoen eraginkortasuna ahalik eta gehien aprobetxatuz, kutsadura doako kuartzoa da.