Erdieroaleen prozesamendurako Semicorex fokatze-eraztun iraunkorrak erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen diren plasma-grabazio-ganberen muturreko inguruneak jasateko diseinatuta daude. Gure foku-eraztunak purutasun handiko grafitoz eginda daude, higadura-erresistentea den silizio-karburozko estaldura trinko batez estalita. SiC estaldurak korrosioarekiko eta beroarekiko erresistentzia handiko propietateak ditu, baita eroankortasun termiko bikaina ere. SiC geruza meheetan aplikatzen dugu grafitoan lurrun-deposizio kimikoa (CVD) prozesua erabiliz, gure foku-eraztunen iraupena hobetzeko.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta