PECVD Eguzki Grafito Ontzia

SemicorexPECVD eguzki-grafitozko ontziakzehaztasunez egindako purutasun handikoak diragrafito isostatikoa. Semicorex-eko PECVD eguzki-grafitozko itsasontzi bakoitzak mekanizazio zehatza, dimentsioko ikuskapena eta errendimendu elektrikoaren probak egiten ditu tenperatura altuko plasma inguruneetan errendimendu egonkorra ziurtatzeko.

PECVD prozesatzean, PECVD eguzki-grafitozko itsasontziak siliziozko obleak eramaten ditu PECVD erreakzio-ganberara eta RF elikadura-iturrira konektatutako elektrodo gisa balio du. Aldameneko itsasontzien plaken artean tentsio alternoa aplikatzen denean, eremu elektrikoa ezartzen da. Eremu elektrikoaren eraginez, gas erreaktiboek (esaterako, silano SiH₄ eta amoniako NH₃) distira-deskarga jasaten dute eta plasma sortzen dute. Plasmako ioiek eta erradikal askeek gas aitzindariak deskonposatzen dituzte, silizioa (Si) eta nitrogeno (N) ioiak sortuz. Ioi hauek konbinatzen dira silizio nitruroa (Si₃N₄) molekulak eratzen dituztenak, eta ondoren siliziozko oblearen gainazalean metatzen dira film meheak sortzeko.

1. Aparteko egonkortasun termikoa

Semicorx siliziozko obleen ondoko hedapen termikoko koefizientearekinPECVD eguzki-grafitozko itsasontziaBerotzean dimentsio-aldaketa arbuiagarria izaten du, eta horrek estres termikoak eragindako kalteak modu fidagarrian saihesten ditu oblei.

2. Eroankortasun elektriko eta termiko handiagoa

Semicorex PECVD eguzki-grafitozko itsasontziek eroankortasun elektriko bikaina dute, RF korrontearen eroapen azkarra eta eremu elektrikoaren banaketa uniformea ​​bermatuz, eta hori onuragarria da plasma egonkorra sortzeko eta siliziozko obleen deposizio uniformerako. Gainera, bere eroankortasun termiko bikainak hozte eta berotze azkarra errazten du, ekoizpen-eraginkortasuna hobetuz, tokiko gainberotzeak deposizio-kalitateari eragin diezaioten.

3. Egonkortasun kimiko sendoa

Lehen mailako materiala erabiltzeari esker, Semicorex PECVD eguzki-grafitozko ontziak ez du erreakziorako joera gutxiago gas erreaktiboekin eta plasmarekin. Ezaugarri honek nabarmen saihesten du grafitozko itsasontzian korrosio, deformazio edo ezpurutasun-deposizioak eragindako eremu elektrikoaren banaketa irregularra, eta horrela, deposizio-prozesuaren egonkortasuna eta silizio-obleen gainazaleko kalitatea bermatzen dira.

4. Erresistentzia mekaniko nabarmena

Bere indar mekaniko bikainarekin, Semicorex PECVD eguzki-grafitozko itsasontziak bolumen handiko obleen kargaren pisua erraz maneia dezake. Kargatzerakoan eta garraiatzean sortutako esfortzu mekanikoari denbora luzez jasan dezakete, erraz deformatu edo hautsi gabe.

5. Dimentsio-koherentzia bikaina

Semicorex PECVD eguzki-grafitozko ontziak osagai guztietan dimentsio-zehaztasuna lortzen du doitasun mekanizatuaren bidez. Siliziozko oblea posizio finko batean mantentzen du deposizioan zehar, eta horrek deposizio uniformea ​​eta ekoizpen automatizatuarekin bateragarritasuna bermatzen ditu.