PBN Chuck elektrostatikoa

Materialaren propietateakPBNChuck elektrostatikoa

Tenperatura handiko erresistentzia eta erresistentzia dielektrikoa

ThePBNChuck elektrostatikoa tenperatura altuko erresistentzia paregabeagatik da ezaguna, erdieroaleen fabrikazio prozesuan funtsezkoa den ezaugarria. Boro nitruro pirolitikoak (PBN), mandrilaren eraikuntzan erabilitako materialak, gehien erabiltzen diren zeramika baino erresistentzia handiagoa erakusten du, eta hori funtsezkoa da Johnsen-Rahbek (J-R) chuck-aren indarra 1050 °C-ko tenperaturara arte mantentzeko. Erresistentzia handi honek, bere indar dielektriko handiarekin batera, matxura elektrikoa eraginkortasunez saihesten dela bermatzen du bero bizian ere, eta, horrela, mandrinaren funtzionamendu fidagarritasuna hobetzen du.

Uniforme termikoa eta kolpeen erresistentzia

PBN-ren sare hexagonalaren egiturak, lurrun-jadapen kimikoen bidez prestatutako 1500 °C-tik gorako tenperaturan, bere uniformetasun termiko eta kolpeen erresistentzia bikainari laguntzen dio. Barneko dentsitate handiko berogailu-elementuakPBNChuck elektrostatikoak 600-800°C-ko tenperaturetan % 1,1-1,5eko uniformetasun ona duen oblearen profil termiko koherentea lortzeko aukera ematen du. Gainera, PBNn oinarritutako chuck-ak shock termikoen erresistentzia nabarmena eta masa termiko txikiagoa erakusten du, 600 °C-ra iristeko aukera ematen du 23 °C/seg-ko abiadura azkarrean pitzatzeko edo delaminatzeko arriskurik gabe.

Zona anitzeko berokuntza pertsonalizagarria

PBN Electrostatic Chuck oso pertsonalizagarria da, tenperatura maximoa kontrolatzeko aukera ematen duten zona anitzeko berokuntza gaitasunak ditu. Pertsonalizazio maila honek bermatzen du chuck bakoitza bezero indibidualen eskakizun espezifikoei erantzuteko egokitu daitekeela, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotarako irtenbide malgua eskainiz.

ren aplikazioakPBNChuck elektrostatikoa

Ioien inplantazioa eta obleen manipulazioa

PBN Electrostatic Chuck ioiak inplantatzeko prozesuetan obleak maneiatzeko aparatu hobetsia da. Ostia 1000 °C-tik gorako tenperaturan eusteko duen gaitasunak merkatuan dagoen txorrota elektrostatiko polifazetikoenetako bat da. Aldakortasun hori are gehiago areagotzen da obleak tenperatura-tarte oso estuetan mantentzeko duen ahalmenarekin, dentsitate handiko eta zona anitzeko berogailu-elementuei esker.

Silizio Karburo Ioien Inplantazioa

SiC ioien inplantazioaren berariazko aplikazioan,PBNChuck elektrostatikoak obleak berotzeko eta manipulatzeko erronkei irtenbide bideragarria eskaintzen die. Funtzio bikoitzeko gaitasunek, hau da, chuck-indar handia, berotze-potentzia handia, uniformetasun termiko ona eta erantzun azkarra, aukera ezin hobea bihurtzen dute SiC ioien inplantazioaren eskakizun konplexuei aurre egiteko.

Erdieroaleen Fabrikazioa

PBN Electrostatic Chuck-ak rol garrantzitsua betetzen du erdieroaleen fabrikazioan, non obleen manipulazio zehatza eta tenperatura kontrola ezinbestekoak diren. Bere kolpe termikoen erresistentzia handia eta tenperatura azkar igotzeko gaitasunak egokia da tenperatura kudeaketa zorrotza eta ziklo termiko azkarra eskatzen duten erdieroaleen prozesu aurreratuetarako.