Chuck elektrostatikoak hainbat funtzio betetzen ditu, hala nola deskarga elektrostatiko uniformea, bero-eroapena eta obleen adsortzioa eta finkapena erdieroaleen fabrikazioaren arloan. ESCren funtzio nagusietako bat obleak modu egonkorrean xurgatzea da muturreko funtzionamendu-baldintzetan, hala nol......
Irakurri gehiagoGarbitasun ultra-altuko obleen fabrikazioan, obleek % 99,999999999tik gorako purutasun estandarra lortu behar dute erdieroaleen oinarrizko propietateak ziurtatzeko. Paradoxikoki, zirkuitu integratuen eraikuntza funtzionala lortzeko, ezpurutasun espezifikoak sartu behar dira obleen gainazalean lokale......
Irakurri gehiagoZeramikazko huts-hutsak zeramikazko material porotsuez eginak dira, poroen tamainaren banaketa uniformearekin eta barne-konexioarekin. Arteztu ondoren, gainazala leuna eta delikatua da lautasun onarekin. Oso erabiliak dira erdieroaleen obleak fabrikatzeko, hala nola silizioa, zafiroa eta galio artse......
Irakurri gehiagoWafer hautaketak eragin handia du erdieroaleen gailuen garapenean eta fabrikazioan. Wafer hautapena aplikazio-eszenatoki espezifikoen eskakizunen arabera gidatu behar da, eta arreta handiz ebaluatu behar da hurrengo neurri erabakigarri hauek erabiliz.
Irakurri gehiagoLehorrean grabatzeko ekipoek ez dute produktu kimiko hezerik erabiltzen grabatzeko. Batez ere, ganbaran etchant gaseoso bat sartzen du goiko elektrodo baten bidez, zeharkako zulo txikiak dituena. Goiko eta beheko elektrodoek sortzen duten eremu elektrikoak ionizatzen du gas-grabatzailea, eta ondoren......
Irakurri gehiago