Agrabatua, edo grabatua, erdieroaleen fabrikazioan, mikroelektronika IC fabrikazioan eta mikro/nano fabrikazio prozesuetan urrats erabakigarria da. Fotolitografiarekin lotutako eredu-prozesu nagusi bat da. Zentzu hertsian, akuafortea funtsean grabaketa fotolitografikoa da, non photoresist lehenik fo......
Irakurri gehiagoSilizio nitruroa (Si₃N₄) 320 W/(m·K) inguruko eroankortasun termiko intrintsekoa duen egiturazko zeramikazko materiala da, eroankortasun termiko handia eta propietate mekaniko bikainak dituena. Giro-tenperaturan duen egonkortasun handiari esker, Si₃N₄ oso onartua izan da erdieroaleen industria moder......
Irakurri gehiagoGoi-mailako gailu erdieroaleen fabrikazioan, SiO₂ filmak oxidazio-prozesuen bidez sortzen dira normalean substratuaren gainazaleko tratamendurako, eta haien aplikazio arruntak honako hauek dira: dopatzaile hesi-geruzak, gainazaleko isolamendu-geruzak, ate-oxido-geruzak, eremu-oxidoak eta sakrifizio-......
Irakurri gehiagoTeknologiaren aurrerapenarekin, telefono mugikorrak, ordenagailuak, ibilgailu elektrikoak eta robotak bezalako produktu adimendunak pertsonen bizitzan txertatu dira. Produktu hauek txip erdieroale ugari dituzte, eta txipak fabrikatzeko ekipamendu erdieroaleak behar dira, esate baterako, grabatzeko m......
Irakurri gehiagoErresistentzia handiko siliziozko obleak (HR-Si), bere izenak dioen bezala, erresistentzia oso handiko siliziozko material monokristalino bat da. Erdieroaleen fabrikazio aurreratuko eremuan, maiztasun handiko galerak goi-mailako txip diseinuan erronka nagusi bihurtu da. Bere erresistibitate oso altu......
Irakurri gehiagoFoku-eraztuna, konpentsazio-eraztun edo konfinamendu-eraztun gisa ere deitzen zaio, grabatzeko ekipoen ezinbesteko osagaia da, batez ere plasma lehorrean grabatzeko ekipoen osagaia. Erdieroaleen fabrikazio modernoan nanoeskalako doitasuneko grabaketa prozesuak ezin izango lirateke lortuko hori gabe.......
Irakurri gehiago