Aguaforte lehorra sistema mikroelektro-mekanikoen fabrikazio-prozesuetan teknologia nagusia da. Lehorreko grabaketa-prozesuaren errendimenduak eragin zuzena du gailu erdieroaleen egitura-zehaztasunean eta funtzionamenduan. Aguaforte-prozesua zehatz-mehatz kontrolatzeko, arreta handia jarri behar zai......
Irakurri gehiagoAguaforte lehorra ekintza fisikoak eta kimikoak konbinatzen dituen prozesua da normalean, eta ioien bonbardaketa grabaketa fisikoaren teknika erabakigarria da. Grabatzean, angelu intzidentea eta ioien energia-banaketa irregularrak izan daitezke.
Irakurri gehiagoSilizio karburoa aerostatikoa slideway sistema aurreratu bat da, silizio karburoaren materialaren propietateak eta teknologia aerostatikoa konbinatzen dituena. Doitasun handiko, fidagarritasun handiko eta epe luzeko mugimendu-sistemetarako soluzio ezin hobea denez, silizio-karburoko irristagailu aer......
Irakurri gehiagoSilizio karburozko kristal bakarrak prestatzeko metodo nagusia lurrunaren garraio fisikoa (PVT) metodoa da. Metodo hau kuartzozko hodiaren barrunbe bat, berogailu-elementu bat (indukzio-bobina edo grafitozko berogailua), grafitozko karbono-fieltroaren isolamendu-materiala, grafitozko arragoa, silizi......
Irakurri gehiagoSOI, Silicon-On-Insulator hitzaren laburpena, substratu bereziko materialetan oinarritutako erdieroaleen fabrikazio prozesu bat da. 1980ko hamarkadan industrializatu zenetik, teknologia hau erdieroaleen fabrikazio prozesu aurreratuen adar garrantzitsu bat bihurtu da. Hiru geruza konposatu egitura be......
Irakurri gehiagoChuck elektrostatikoak hainbat funtzio betetzen ditu, hala nola deskarga elektrostatiko uniformea, bero-eroapena eta obleen adsortzioa eta finkapena erdieroaleen fabrikazioaren arloan. ESCren funtzio nagusietako bat obleak modu egonkorrean xurgatzea da muturreko funtzionamendu-baldintzetan, hala nol......
Irakurri gehiago