Erreakzio-ganberaren konfigurazioan oinarrituta, tratamendu termikoko ekipoak (labe-hodi-ekipoak) hiru kategoriatan banatzen dira nagusiki: labe bertikalak, labe horizontalak eta prozesatzeko termiko azkarra (RTP) labeak.
Labe bertikaleko hodiek bertikalki antolatutako kuartzozko hodiak dituzte, obleak hodien inguruan jarrita berotzeko. Haien abantaila nagusiak tenperatura banaketa uniformea, atmosferaren kontrol zehatza, automatizazio handia, partikula-kutsadura gutxiago, aztarna txikia eta loteen prozesatzeko euskarria dira (batez ere 12 hazbeteko obleetarako egokia), gaur egun eskuragarri dauden ekipamendu nagusiak bihurtuz. Merkatu globalaren tamaina 3.200 milioi dolarra iritsi zen 2024an (SEMI datuak). Haien desabantailak honako hauek dira: gas-likidoen bereizketa erraza eta ertainaren beheranzko fluxua labearen hodia erretzea eragin dezakeena.
Labe horizontalek kuartzozko hodiak horizontalean jarri dituzte, aldi berean 100-200 ostia prozesatzen dituzte. Haien abantailak labearen hodiaren barruan gas-likidoaren fluxu uniformea eta tenperatura kontrol zehatzagoa dira. Haien desabantailak aztarna handiagoa eta aleazio handiko altzairuzko tarteko tutu euskarien kontsumo handiagoa dira. Egitura aldetik, labe horizontaleko hodiek obleak bertikalki jartzen dituzte hodi horizontalen barruan prozesatzeko.
Errekuntza termiko azkarra (RTP) labeek lanpara infragorri halogenoak erabiltzen dituzte obleak azkar berotzeko, obleen tenperatura soilik aldatzen duten berotze- eta hozte-tasa azkarrak eskaintzen dituzte, ganbararen tenperatura aldatu gabe. Aproposak dira lote txikiko errekostea azkarrerako, baina ez ekoizpen masiborako.
Obleak prozesatzeko, labe horizontaleko hodiek oblea kuartzozko itsasontzi batean jartzen dute, eta, aldi berean, silizio karburoaren (SiC) euskarri-marko baten gainean dago. Ondoren, euskarria kuartzozko labearen hodira bultzatzen da, non obleak erreakzioa jasaten duen tenperatura konstanteko zona batean. Labe bertikaleko hodiek, berriz, ostia kuartzozko dorre batean jartzen dute eta poliki-poliki kuartzozko labeko hodira igotzen dute prozesatzeko. Erreakzioaren ondoren, oblea poliki-poliki jaisten da makurdura edo haustura ekiditeko.
Semicorex-ek kalitate handiko pertsonalizatuak eskaintzen ditukuartzozko labe erreaktorea. Gure produktuak egonkortasun termiko handiagoa, zerbitzu-bizitza luzea eta prozesuen koherentzia paregabea emateko diseinatuta daude. Soluzio pertsonalizatuak edo informazio tekniko osagarria lortzeko, jar zaitez gure ingeniaritza taldearekin harremanetan.
Telefonoa: +86-13567891907
Posta elektronikoa: sales@semicorex.com