Epitaxial wafer prozesua erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen den teknika kritikoa da. Substratu baten gainean kristalezko geruza mehe bat haztea dakar, substratuaren egitura eta orientazio kristal berdina duena. Prozesu honek bi materialen arteko kalitate handiko interfazea sortzen du, gailu elektroniko aurreratuak garatzeko aukera emanez.

Epitaxial wafer prozesua hainbat gailu erdieroaleen ekoizpenean erabiltzen da, diodoak, transistoreak eta zirkuitu integratuak barne. Prozesua normalean lurrun-deposizio kimikoa (CVD) edo izpi molekularra epitaxia (MBE) tekniken bidez egiten da. Teknika hauek material-atomoak substratuaren gainazalean jalkitzea dakar, non geruza kristalinoa osatzen duten.

Ostia epitaxialaren prozesua teknika konplexu eta zehatza da, eta hainbat parametroren kontrol zorrotza eskatzen du, hala nola tenperatura, presioa eta gas-emaria. Geruza epitaxialaren hazkuntza arretaz kontrolatu behar da kalitate handiko kristal-egitura bat eratzea akatsen dentsitate txikia izateko.

Oblea epitaxialaren prozesuaren kalitatea funtsezkoa da ondoriozko gailu erdieroalearen errendimendurako. Geruza epitaxialak lodiera uniformea, akatsen dentsitate baxua eta purutasun maila altua izan behar ditu propietate elektroniko optimoak bermatzeko. Geruza epitaxialaren lodiera eta doping-maila zehatz-mehatz kontrolatu daitezke nahi diren propietateak lortzeko, hala nola eroankortasuna eta banda hutsunea.

Azken urteotan, oblea epitaxialaren prozesua gero eta garrantzitsuagoa izan da errendimendu handiko gailu erdieroaleen ekoizpenean, bereziki potentzia-elektronikaren arloan. Eraginkortasun eta fidagarritasun hobeak dituzten errendimendu handiko gailuen eskariak oblea epitaxialaren prozesu aurreratuen garapena bultzatu du.

Ostia epitaxialaren prozesua sentsore aurreratuen garapenean ere erabiltzen ari da, tenperatura sentsoreak, gas sentsoreak eta presio sentsoreak barne. Sentsore hauek kalitate handiko geruza kristalinoak behar dituzte, propietate elektroniko espezifikoak dituztenak, oblea epitaxialaren prozesuaren bidez lor daitezkeenak.