Silizio kristal bakarreko erdieroaleen eremu termikoaren estaldura

Erdieroale silizio kristal bakarreko eremu beroan estalitako piezak CVD metodoaren bidez estaltzen dira, karbono pirolitikoen estaldura barne,Siliziozko karburozko estalduraetaTantalo Karburozko estaldura, bakoitza ezaugarri ezberdinekin.

Puntu komunak: substratua purutasun handiko grafito isostatikoa da, oro har 5ppm errauts baino gutxiago; estaldura CVD metodoa erabiltzen da; estaldura, funtsean, %100 karbonoa edo Silizio Karburoa da; estaldura ondoren gainazala nahiko trinkoa da, gasa, batez ere labearen silizio-lurruna edo silizio oxidoaren gasa, funtsean, blokeatu daiteke; bere hautsaren hegazkortasuna ere oso txikia da.

Aldeak: estalduraren lodiera estandarra, karbono pirolitikoa estaldura, oro har, 40um ingurukoa da; Silizio karburoaren estaldura 100um ingurukoa da, baina bezeroen behar ezberdinen arabera, 30um ~ 150um egin daiteke, estaldura bat eta bi estaldura barne; tantalio karburoaren estaldura 35±15um-koa da, oro har.

Karbono pirolitikoen estaldura, bere dentsitatea grafito ez-porotsuarenaren baliokidea da, hau da, 2,2 inguru. Erresistentzia baxua eta eroankortasun termiko handia ditu gainazaleko noranzko paraleloan, beraz, gainazaleko tenperaturaren koherentzia mantendu dezake, eta hedapen termiko koefiziente baxua eta elastikotasun modulu handia ere baditu. Gainazalaren norabide perpendikularrean, hedapen termikoaren koefizientea handiagoa da eta eroankortasun termikoa txikiagoa da.

Silizio Karburozko estalitako produktuetarako, estalduraren modulu elastikoa oso altua da, barneko grafitoaren substratuaren modulu elastikoa baino hamar aldiz handiagoa, beraz, produktua haustura saihesteko, astiro-astiro maneiatu behar da.

Ezpurutasun-eduki guztiaren karbono pirolitikoa eta silizio-karburoaren estaldura 5ppm baino txikiagoa da, non metal-elementu nagusia 0,1 edo 0,01 ppm baino txikiagoa den, orduan eta zailagoa da boro-elementuari aurre egitea 0,01 edo 0,15 ppm.

Semicorex-ek kalitate handiko CVD estaldura produktua eskaintzen du erdieroaleentzako zerbitzu pertsonalizatuarekin. Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com