Zer adierazleri erreparatu behar zaie oblea egokiak hautatzerakoan?

Ostia hautaketak eragin handia du erdieroaleen gailuen garapenean eta fabrikazioan.Ostiahautaketa aplikazio-eszenatoki espezifikoen eskakizunek gidatu behar dute, eta arreta handiz ebaluatu behar da ondoko neurri erabakigarri hauek erabiliz.

1. Lodiera osoaren aldakuntza:

Obleen gainazalean neurtutako lodiera maximoen eta minimoen arteko aldea TTV izenez ezagutzen da.  Lodieraren uniformetasuna neurtzeko metrika garrantzitsua da, eta errendimendu handiagoa balio txikiagoek adierazten dute.

2.Arkua eta deformazioa:

Branka-adierazleak oblearen erdigunearen desplazamendu bertikalean zentratzen du, tokiko tolestura-egoera soilik islatzen duena. Tokiko lautasunarekiko sentikorrak diren eszenatokiak ebaluatzeko egokia da. Deformazio-adierazlea erabilgarria da lautasun orokorra eta distortsioa ebaluatzeko, oblearen gainazal osoaren desbideratzea kontuan hartzen duelako eta oblea osoaren lautasun orokorrari buruzko informazioa ematen duelako.

3. Partikula:

Obleen gainazaleko partikulen kutsadurak gailuen fabrikazioan eta errendimenduan eragina izan dezake, beraz, beharrezkoa da ekoizpen-prozesuan partikula sortzea gutxitzea eta garbiketa-prozesu bereziak erabiltzea gainazaleko partikulen kutsadura murrizteko eta kentzeko.

4.Zabaltasuna:

Zimurtasuna obleen gainazalaren lautasuna eskala mikroskopikoan neurtzen duen adierazleari deritzo, lautasun makroskopikotik desberdina dena. Gainazalaren zimurtasuna zenbat eta txikiagoa izan, orduan eta leunagoa izango da. Gehiegizko zimurtasunaren ondorioz gerta daitezke film meheen deposizio irregularra, eredu fotolitografikoen ertzak lausoak eta errendimendu elektriko eskasa bezalako arazoak.

5. akatsak:

Ostia-akatsek prozesamendu mekanikoaren ondorioz sortutako sare-egitura osatugabeak edo irregularrak aipatzen dituzte, eta, aldi berean, mikrohodiak, dislokazioak eta marradurak dituzten kristalen kalte-geruzak osatzen dituzte. Oblearen propietate mekaniko eta elektrikoak kaltetuko ditu eta, azkenean, txiparen hutsegitea ekar dezake.

6.Eroankortasun mota/dopantea:

Bi oble motak n motakoak eta p motakoak dira, dopin-osagaien arabera. n motako obleak normalean V taldeko elementuekin dopatzen dira eroankortasuna lortzeko. Fosforoa (P), artsenikoa (As) eta antimonioa (Sb) ohiko dopin elementuak dira. P motako obleak, nagusiki, III taldeko elementuekin dopatzen dira, normalean boroarekin (B). Dopatu gabeko silizioa silizio intrintsekoa deritzo. Bere barne-atomoak lotura kobalenteen bidez lotzen dira egitura solido bat sortzeko, eta elektrikoki egonkorra den isolatzaile bihurtuz. Hala ere, ez dago benetako ekoizpenean ezpurutasunik gabe dagoen siliziozko oblea intrintsekorik.

7.Erresistentzia:

Branka-adierazleak oblearen erdigunearen desplazamendu bertikalean zentratzen du, tokiko tolestura-egoera soilik islatzen duena. Tokiko lautasunarekiko sentikorrak diren eszenatokiak ebaluatzeko egokia da. Deformazio-adierazlea erabilgarria da lautasun orokorra eta distortsioa ebaluatzeko, oblearen gainazal osoaren desbideratzea kontuan hartzen duelako eta oblea osoaren lautasun orokorrari buruzko informazioa ematen duelako.

Amaitzeko, gomendatzen da ondorengo prozesuaren baldintzak eta ekipoen mugak argitzea obleak hautatu aurretik, eta, ondoren, zure hautaketa egitea goiko adierazleetan oinarrituta, erdieroaleen gailuen garapen-zikloa laburtzeko eta fabrikazio-kostuak optimizatzeko helburu bikoitzak ziurtatzeko.