Zer da Erdieroaleen Ioi Ezartzeko Teknologia?

Nola egiten duIoi inplanteazioaLana?

Erdieroaleen fabrikazioan, ioien ezarpenak energia handiko azeleragailuak erabiltzean datza ezpurutasun-atomo espezifikoak injektatzeko, artsenikoa edo boroa, adibidez.siliziozko substratua. Silizioak, taula periodikoaren 14. tokian kokatuta, lotura kobalenteak sortzen ditu bere kanpoko lau elektroiak inguruko atomoekin partekatuz. Prozesu honek silizioaren propietate elektrikoak aldatzen ditu, transistoreen atalase-tentsioak egokituz eta iturri- eta drain-egiturak osatuz.

Fisikari batek silizio-sarean atomo desberdinak sartzearen ondorioak hausnartu zituen behin. Kanpoko bost elektroi dituen artsenikoa gehituz, elektroi bat libre geratzen da, silizioaren eroankortasuna areagotuz eta n motako erdieroale bihurtuz. Alderantziz, boroa sartzeak, kanpoko hiru elektroi bakarrik dituena, zulo positibo bat sortzen du, eta ondorioz p motako erdieroale bat sortzen da. Elementu desberdinak silizio-sarean sartzeko metodo honi ioien inplantazioa deritzo.

Zeintzuk dira osagaiakIoien InplantazioaEkipamendua?

Ioiak inplantatzeko ekipamenduak hainbat osagai ditu: ioi-iturri bat, azelerazio-sistema elektriko bat, huts-sistema bat, analisi-iman bat, izpiaren bide bat, azelerazio osteko sistema bat eta inplantazio-ganbera bat. Ioi-iturria funtsezkoa da, atomoetatik elektroiak kentzen baititu ioi positiboak sortzeko, eta gero ateratzen dira ioi-sorta sortzeko.

Izpi hau masa-analisi-modulu batetik pasatzen da, erdieroaleak aldatzeko nahi diren ioiak selektiboki isolatuz. Masa-analisiaren ondoren, purutasun handiko ioi-sorta fokatu eta moldatzen da, behar den energiaraino bizkortzen da eta uniformeki eskaneatzen da.substratu erdieroalea. Energia handiko ioiak materiala sartzen dira, sarean txertatuz, eta horrek akats onuragarriak sor ditzake zenbait aplikaziotarako, hala nola, txipetan eta zirkuitu integratuetan eskualdeak isolatzeko. Beste aplikazio batzuetarako, erretiro-zikloak kalteak konpontzeko eta dopatzaileak aktibatzeko erabiltzen dira, materialaren eroankortasuna hobetuz.

Zeintzuk dira ioien inplantazioaren printzipioak?

Ioien inplantazioa erdieroaleetan dopanteak sartzeko teknika bat da, eta ezinbestekoa du zirkuitu integratuen fabrikazioan. Prozesua honakoa dakar:

Ioien arazpena: iturritik sortutako ioiak, elektroi eta protoi zenbaki desberdinak dituztenak, azeleratu egiten dira ioi-sorta positiboa/negatiboa osatzeko. Ezpurutasunak karga-masaren erlazioaren arabera iragazten dira nahi den ioi-garbitasuna lortzeko.

Ioi-injekzioa: ioi-izpi azeleratua angelu zehatz batean zuzentzen da xede-kristalaren gainazalarekiko, uniformeki irradiatuz.ostia. Gainazalean sartu ondoren, ioiek talkak eta sakabanaketak jasaten dituzte sarearen barruan, azkenean sakonera jakin batean finkatuz, materialaren propietateak aldatuz. Doping eredua maskara fisiko edo kimikoen bidez lor daiteke, zirkuitu eremu zehatzen aldaketa elektriko zehatzak ahalbidetuz.

Dopanteen espero den sakoneraren banaketa habearen energia, angelu eta oblearen material propietateek zehazten dute.

Zeintzuk diren abantailak eta mugakIoien Inplantazioa?

Abantailak:

Dopante sorta zabala: taula periodikoko ia elementu guztiak erabil daitezke, ioien hautaketa zehatzak bermatzen duen purutasun handiarekin.

Kontrol zehatza: ioien izpiaren energia eta angelua zehaztasunez kontrola daitezke, dopanteen sakonera eta kontzentrazio banaketa zehatza ahalbidetuz.

Malgutasuna: Ioien inplantazioa ez dago oblearen disolbagarritasun-mugek mugatzen, beste metodo batzuek baino kontzentrazio handiagoak ahalbidetuz.

Dopin uniformea: eremu zabaleko dopin uniformea ​​lor daiteke.

Tenperaturaren kontrola: oblearen tenperatura kontrolatu daiteke inplantazioan.

Mugak:

Sakonera txikia: normalean gainazaletik mikra batera mugatzen da.

Oso azaleko inplantazioarekin zailtasunak: energia baxuko habeak kontrolatzen zailak dira, prozesuaren denbora eta kostua handituz.

Sarearen kaltea: ioiek sareari kalte egin dezakete, dopatzaileak konpondu eta aktibatzeko inplantazioaren osteko errekostea behar da.

Kostu handia: ekipoen eta prozesuen kostuak nabarmenak dira.

Semicorex-en espezializatuta gaudeGrafitoa/Zeramika CVD estaldura jabedunarekinioien inplantazioan irtenbideak, edozein kontsulta baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefonoa: +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com