Silizio monokristalinoaren obleen susceptor

Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor grafito epitaxia eta obleak manipulatzeko prozesuetarako soluzio ezin hobea da. Gure produktu ultrapuruak kutsadura minimoa eta bizitza luzeko errendimendu paregabea bermatzen ditu, Europako eta Amerikako merkatu askotan aukera ezaguna bihurtuz. Txinan erdieroaleen obleen hornitzaile nagusi gisa, zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Gure Silizio Epitaxial Susceptor Monokristalinoa purutasun handiko SiCz estalitako grafitozko produktua da, bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia duena. CVD silizio karburo estalitako eramailea erdieroaleen obleetan geruza epitaxiala osatzen duten prozesuetan erabiltzen da. Eroankortasun termiko handia eta beroa banatzeko propietate bikainak ditu, erdieroaleen fabrikazio prozesu eraginkor eta zehatzetarako ezinbestekoak direnak.
Gure Silizio Monokristalinoaren Wafer Susceptor-aren ezaugarri nagusietako bat bere dentsitate bikaina da. Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuko eta laneko ingurune korrosiboetan. Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den siliziozko karburo estalitako suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du, eta hori ezinbestekoa da kalitate handiko obleen ekoizpena mantentzeko.
Gure produktuaren beste ezaugarri garrantzitsu bat grafitozko substratuaren eta silizio karburoaren geruzaren arteko hedapen termikoaren koefizientearen aldea murrizteko gaitasuna da. Honek lotura-indarra hobetzen du, pitzadura eta delaminazioa saihestuz. Gainera, bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte, fabrikazio prozesuan beroa uniformeki banatzen dela bermatuz.
Gure Siliziozko Wafer Susceptor monokristalinoa tenperatura altuko oxidazio eta korrosioarekiko erresistentea da, produktu fidagarria eta iraunkorra bihurtuz. Bere urtze-puntu altuak erdieroaleen fabrikazio eraginkorrerako beharrezkoa den tenperatura altuko ingurunea jasan dezakeela ziurtatzen du.
Ondorioz, Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor soluzio ultrapurua, iraunkorra eta fidagarria da grafitoaren epitaxia eta obleak manipulatzeko prozesuetarako. Bere dentsitate bikaina, gainazaleko lautasuna eta eroankortasun termikoa ezin hobea da tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan erabiltzeko. Harro gaude kalitate handiko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeaz eta zurekin lankidetzan aritzea espero dugu zure erdieroaleen obleen behar guztietarako.

Silizio monokristalinoaren oblearen susceptoraren parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristal Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

Silizio monokristalinoaren obleen susceptoraren ezaugarriak

- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-rainoko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea