Zeramikazko Chuck mikroporosoa

Semicorex zeramikazko mandril mikroporosoa erdieroalean obleak maneiatzeko funtsezko osagai gisa. Zeramikazko zeramikazko chuck-aren muina den heinean, zeramika mikroporotsuaren zuloak oso txikiak dira normalean, porositatea %30 ~%50 ingurukoa izan behar da. Zuloaren diametroa mikro-mailakoa izan behar da, baita nano-mailakoa ere. Pieza hutseko zorroan tinko lotzea bermatu dezake, gainazaleko marradurak, harrapakinak eta abarrekiko faktore txarrak saihestu, presio negatiboen ondorioz. Bitartean, osagai elektronikoen fotolitografia-prozesuan Alumina hutseko mandrila erabiltzen denean, normalean porotsuak behar ditu.Alumina zeramikachuck beltza izan dadin, chuck-etik islatutako argi galduak eragindako interferentziak saihesteko.

ren egitura delakoaluminahutseko chucks nahiko erraza da, fabrikazio eta mantentze-kostuak baxuak dira, eta xurgapen-indarra ere nahiko erraza da doitzeko, ostia guztiz egonkorra eta finkoa izan daiteke prozesatzeko garaian, huts-ponparen lan-egoera edo chucksen arteko tartea egokituz. Hala eta guztiz ere, ostia hutsean edo presio baxuko ingurunean prozesatzen denean lurrun-deposizio kimikoa bezala, hutseko zorroak ezin du funtzionatu presio-diferentzian, eta horrek bere aplikazioak mugatzen ditu. Gainera, oblea zeramikazko chuck mikroporotsuaren gainazalean xurgatzen denean, airearen presioaren ondorioz deformatu egingo da, orduan oblea atzera egin dezake prozesatu ondoren, eta ondorioz, gainazal uhina sortuko da ebakitako gainazalean, gainazaleko lautasuna murriztuko da eta prozesatzeko zehaztasunean eragina izango du. Beraz, zeramikazko mandril mikroporotsua normalean osagai lau eta ondo itxietan finkatzeko edo garraiatzeko erabiltzen da, hala nola metalezko plaka. Eta erdieroaleen prozesamenduan, normalean maila baxuko prozesuan aplikatzen da.

Semicorex zeramikazko zorro mikroporotsuak doitasun handiko hutsean eusteko osagaiak dira, estutzeko indar uniformea, lautasun bikaina eta kutsadurarik gabeko funtzionamendua behar duten aplikazioetarako diseinatuta. OEM ekipamenduen fabrikatzaileentzat eta produkzio-ingurune aurreratuentzat garatuak, Semicorex zeramikazko zorroak piezaren finkapen egonkorra eta errepikagarria eskaintzen dute, non finkatze mekanikoa edo ohiko hutseko zorroen diseinuak nahikoak ez diren.

Funtsezko Errendimendu Ezaugarriak

Hutsaren banaketa uniformea ​​gainazal osoan

Hutseko zulo diskretuetan oinarritzen diren hutsezko zorro konbentzionalak ez bezala, Semicorex zeramikazko zorro mikroporotsuak guztiz elkarlotutako egitura mikroporosoa erabiltzen dute hutsa txupinaren gainazalean uniformeki banatzeko.

Diseinu honek honako hau eskaintzen du:

Euste-indar uniformea ​​kontaktu-eremu osoan zehar

Esfortzu lokalizatua eta piezaren deformazioa murriztea

Egonkortasun hobetua substratu mehe, hauskor edo malguetarako

Ondorioz, portada hauek bereziki egokiak dira siliziozko obleak, beira panelak, zafiro substratuak, zeramika eta material konposatuetarako.

Lautasun handia eta dimentsio-egonkortasuna

Semicorex zeramikazko zorro mikroporotsuak doitasuneko sinterizazio eta gainazal akabera prozesuen bidez fabrikatzen dira, lautasun handia eta epe luzerako dimentsio-egonkortasuna lortzeko.

Lautasun tipikoa mikra-mailako tolerantziaren barruan kontrola daiteke, tamainaren eta aplikazioaren arabera

Hedapen termiko baxuak deformazioa minimizatzen du tenperaturaren gorabeheretan

Honek kokapen-zehaztasun koherentea bermatzen du artezketa, leunketa, ikuskapena eta litografiarekin lotutako prozesuetan.

Funtzionamendu garbia eta partikularik gabekoa

Zeramikazko material aurreratuak berez ez-metalikoak, ez-magnetikoak eta korrosioarekiko erresistenteak dira, eta Semicorex-eko zeramikazko mandril mikroporotsuak egokiak dira fabrikazio-ingurune garbi eta sentikorretarako.

Abantaila nagusiak honako hauek dira:

Metalen kutsadurarik ez

Partikula baxua sortzea

Gela garbiko aplikazioekin bateragarritasuna

Propietate hauek erdieroaleen fabrikaziorako, osagai optikoen ekoizpenerako eta doitasun elektronika prozesatzeko aproposa bihurtzen dute.

Material eta egiturazko abantailak

Kontrolatutako Egitura Zeramika Mikroporosoa

Semicorex zeramikazko chucks mikroporotsuen poro-tamaina eta porositatea kontu handiz diseinatuta daude hutseko emaria, euste-indarra eta erresistentzia mekanikoa orekatzeko.

Poroen banaketa uniformeak hutsaren errendimendu egonkorra onartzen du

Egitura mikroporosoak funtzionamenduan zehar bat-bateko presio galera murrizten du

Eustearen fidagarritasuna hobetu da zulatutako hutseko mandrilekin alderatuta

Egitura honek etengabeko funtzionamenduan txucking-errendimendu koherentea bermatzen du.

Aplikazio tipikoak

Semicorex microporous zeramikazko chucks oso erabiliak dira:

Oble erdieroaleen artezketa eta leunketa

Beira, zafiroa eta zeramikazko substratu prozesatzea

Osagai optikoen fabrikazioa

Doitasuneko mekanizazio eta metrologia sistemak

Haien errendimendu egonkorra eta errepikagarria denez, doitasun handiko ekoizpen-lerro automatizatuetarako oso egokiak dira.

Ohiko galderak - Semicorex Microporous Ceramic Chuck

Zein da zeramikazko mandril mikroporotsu baten abantaila nagusia?

Hutsean eusteko indar uniformea ​​ematen du gainazal osoan zehar, deformazioa gutxituz eta prozesuaren egonkortasuna hobetuz.

Semicorex zeramikazko zorroak egokiak al dira ostia meheetarako?

Bai. Bereziki eraginkorrak dira presio banaketa berdina behar duten pieza mehe, hauskor edo malguetarako.

Pertsonaliza al daitezke Semicorex zeramika mikroporotsuak OEM ekipoetarako?

Bai. Dimentsioak, porositateak eta gainazaleko zehaztapenak OEM-en aplikazio espezifikoetarako egokitu daitezke.

Nola mantentzen dira zeramika mikroporotsuak?

Ohiko garbiketa nahikoa da normalean. Zeramikazko egiturak higadurari, korrosioari eta degradazio kimikoari eusten dio.