Kristalezko karbono estaldura sentitua

Kristalezko beirazko karbono estaldura sentitu da silizio karburoen erreaktore epituxialetan barneko isolamendu geruza gisa. Errendimendu handiko isolamendu materiala da, ingurune termiko aurreratuetarako diseinatua. Produktu honek tenperatura altuko fabrikazioko erronka tipikoak gainditzen ditu, goi mailako soluzioak eskainiz, isolamendu termikoko propietate arinak eta bikainak direla etagrafitoa sentitu, kristalezko karbono estaldura batek emandako gainazaleko osotasunarekin eta inertasun kimikoarekin batera.

Oinarrizko materiala garbitasun handia dagrafitoa sentituAukeratu zuen eroankortasun termiko baxua tenperatura altuko egonkortasuna eta pisu arina. Grafito normalek normalean gainazaleko zuntzaren isurketa eta partikulen sorrera izan ohi dute, prozesuaren ingurunea sistema epituxial sentikorretan kutsatu dezaketena. Gai hau arintzeko, grafitoaren azalera ederki karbono geruza batez estalita dago, karbono-forma trinko eta porotsua, bere inertzia kimikoagatik, gasaren iragazkortasun txikikoagatik eta aparteko egonkortasun termikoagatik ezaguna da.

Kristalezko karbonoa grafitizatutako karbono bat da, beira eta zeramikaren propietateak uztartzen dituena. Grafito kristalinarekin kontrastean, ia% 100 SP2 karbono hibridaturiko material hibridatua da. Beltza delako eta beiraren antzeko gainazal leuna du, beirazko karbono deritzo.

Karbono karbono estaldurak labe partikulen sorrera desagerrarazi dezake, gainazaleko poro zigilatuak eman, desordenatzeko propietate bikainak eman eta iragazkortasuna murrizteko, material hau oso egokia da erdieroaleen industrian etengabe galdetzeko moldeak eta produktuak etengabe. Material honek erdieroaleen industrian aplikazio ugari ditu, batez ere grafitoko ataletan, hala nola, kristal silizio bakarreko ekipoen osagaiak, hazkunde epitaxialeko osagaiak, galdaketa etengabeak, beirazko zigilatzeko ontziak, etab.

Kristalezko karbonoak tenperatura altuko erresistentzia du 3000 ºC-ko erresistentzia, gehienez, 3000 ºC-ko erresistentzia. Horrez gain, beirazko karbonoak masa baxua du, bero-xurgapen baxua eta hedapen termiko baxua, beraz, tenperatura handiko aplikazio guztietarako egokia da.

Karbono karbono estaldurak funtsezko eginkizuna du grafitoaren gainazaleko poroak zigilatzeko, partikulak eta karbono hautsa kaleratzea eraginez. Hau bereziki kritikoa da SIC hazkunde epitaxialen prozesuetan, non kutsadura minimoak waffer kalitatea eta gailuaren errendimendua arriskuan jar ditzake. Sentituaren egitura porotsua edalontzi karbono-maskor leun eta gogorrarekin enkapsulatuz, estaldurak ingurune termiko garbia eta egonkorra bermatzen du erreakzio ganberaren barruan.

Kristalezko karbono estalduraren funtsezko abantailak hauek dira:

Partikularen isurketa murriztua: estaldura trinketsuak eraginkortasunez blokeatzen ditu zuntz eta partikula solteak, ogiak eta erreaktoreen osagaiak kutsatzea eragotzi.

Egonkortasun termiko altua: grafitoak eta beirazko karbonoak 2000 ºC-ko tenperaturak jasan ditzakete 2000 ° C gainditzen dituztenak edo hutsezko atmosferikoak, produktuaren aproposa tenperatura handiko SIC prozesuetarako.

Inertasun kimikoa: beirazko karbono gainazala azido eta gas korrosibo gehienekiko erresistentea da, isolamendu geruzaren bizitza operatiboa luzatuz baldintza gogorretan.

Prozesuen koherentzia hobetua: gutxieneko partikulen sorrerak epitaxial hazkunde-ingurune egonkorragoa eta errepikakorragoa izaten laguntzen du, ezinbestekoa da kalitate handiko SIC ogiak ekoizteko.

Kristalezko karbono estalduraren aplikazioak nagusiki hedatzen dira SIC hazkunde epitaxikoko labeetara, eta bertan isolamendu termiko geruza gisa erabiltzen da gune beroan. Produktua normalean forru material gisa instalatzen da goiko edo beheko isolamendu piluetan, non babes termikoa eta garbitasuna bermatzeko aukera ematen du.