Kuartzozko idulkia fusionatua

Erdieroaleen fabrikazioan, Fused Quartz Pedestalak obleak eusten dituen kuartzozko itsasontziaren euskarri gisa balio du. Tenperatura konstantea mantenduz, film meheen deposizio uniformea ​​lortzen laguntzen du, gailu erdieroaleen errendimendurako eta fidagarritasunerako faktore kritikoa. Idulkiak prozesu-ganberaren barruko banaketa termikoa eta argia berdina dela ziurtatzen du, eta horrela, deposizio-prozesuaren kalitate orokorra hobetzen du.

Fused Quartz Materialaren abantailak

1.Tenperatura handiko erresistentzia

Fused Quartz Pedestalak 1730 °C inguruko leuntze-puntua du, eta 1100 °C eta 1250 °C bitarteko tenperaturan erabilera luzea jasan dezake. Gainera, epe laburreko esposizioa jasan dezake 1450 °C-ko tenperaturan.

2. Korrosioarekiko Erresistentzia

Fused Quartz Idulkia kimikoki inertea da azido gehienekiko, azido fluorhidrikoarekin izan ezik. Bere azido-erresistentzia zeramikarena 30 aldiz gainditzen du eta altzairu herdoilgaitza 150 aldiz. Tenperatura altuetan, beste material batek ezin du fusionatutako kuartzoaren egonkortasun kimikoarekin parekatu, eta aukera ezin hobea da ingurune kimiko gogorretarako.

3. Egonkortasun termikoa

Fused Quartz Pedestalaren ezaugarri nabarmenetako bat bere hedapen termiko minimoaren koefizientea da. Propietate horri esker, tenperatura-aldaketa gogorrak jasaten ditu pitzadurarik gabe. Esate baterako, azkar berotu daiteke 1100 °C-ra eta gero uretan murgildu giro-tenperaturan kalterik jasan gabe, estres handiko fabrikazio prozesuetarako ezinbesteko ezaugarria.

Fabrikazio-prozesua

Fused Quartz Pedestalaren fabrikazio-prozesua zorrotz kontrolatzen da kalitate estandar gorenak bermatzeko. Idulkiak 10.000 klaseko edo goragoko gela garbiko inguruneetan egindako termokonformazio eta soldadura prozesuen bidez ekoizten dira. Ondoren garbiketa ur ultrapuruarekin (18 MΩ)are gehiago produktuaren garbitasuna eta errendimendua bermatzen ditu. Fused Quartz Pedestal bakoitzari ikuskapen, garbiketa eta ontziratze zorrotzak egiten zaizkio 1.000 klaseko edo goragoko gela garbi batean, erdieroaleen fabrikazioaren eskakizun zorrotzak betetzeko.

Garbitasun handiko kuartzozko material opakua

Beroa eta argia modu eraginkorrean blokeatzeko, Fused Quartz Pedestalak purutasun handiko kuartzozko material opakua erabiltzen du. Material honen propietate bereziek idulkiaren gaitasuna hobetzen dute prozesu-ganberaren barruan tenperatura egonkor eta uniformea ​​mantentzeko, eta, horrela, obleetan film meheen deposizioaren kalitate koherentea bermatzen dute.

Aplikazio sorta zabala

Fused Quartz Pedestalaren propietate apartekoek erdieroaleen industrian hainbat aplikaziotarako egokia egiten dute. ALD prozesuetan, maila atomikoan film mehearen hazkuntzaren kontrol zehatza onartzen du, gailu erdieroale aurreratuen ekoizpenerako ezinbestekoa. LPCVD prozesuetan, idulkiaren egonkortasun termikoa eta argia blokeatzeko gaitasunek filmaren deposizio uniformea ​​lortzen laguntzen dute, gailuaren errendimendua eta etekina hobetzen.

Difusio prozesuetan, Fused Quartz Pedestalaren tenperatura altuko erresistentzia eta inertetasun kimikoak material erdieroaleen dopatze fidagarria eta koherentea bermatzen du. Prozesu hauek funtsezkoak dira gailu erdieroaleen propietate elektrikoak definitzeko, eta kuartzoa bezalako kalitate handiko materialak erabiltzea ezinbestekoa da emaitza optimoak lortzeko.