Semicorex-en Etching Carrier Holder PSS Etching-erako epitaxia-ekipamenduen aplikazio zorrotzenetarako diseinatuta dago. Gure grafito ultrapuruak ingurune gogorrak, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan ditzake. SiC estalitako eramaileak beroa banatzeko propietate bikainak ditu, eroankortasun termiko handia eta errentagarria da. Gure produktuak asko erabiltzen dira Europako eta Amerikako merkatu askotan, eta zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.
Semicorex-en, PSS Etching-erako Etching Carrier Holder diseinatu dugu bereziki hazkunde epitaxialerako eta obleak manipulatzeko prozesuetarako beharrezkoak diren ingurune gogoretarako. Gure grafito-eramaile ultrapurua aproposa da MOCVD, epitaxia suszeptoreak, krepe edo satelite-plataformak eta obleak manipulatzeko prozesatzeko (adibidez, grabatua) bezalako film mehe-faseetarako. SiC estalitako eramaileak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, bero banaketa propietate bikainak eta eroankortasun termiko handia. Gure produktuak errentagarriak dira eta prezio abantaila ona eskaintzen dute.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur PSS Etching-erako gure Etching Carrier Holder buruz gehiago jakiteko.
PSS grabaziorako grabatu euskarriaren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
PSS grabaziorako Etching Carrier Holder-en ezaugarriak
- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-ra arteko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea