ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck-ek indar elektrostatikoak erabiltzen ditu oblearen posizioaren kontrol zehatza mantentzeko, erdieroaleen fabrikazio-inguruneetan doitasun eta errepikakortasun handia bermatuz. ESC chuck-aren diseinuak, bere material hautaketa sendoarekin eta neurri pertsonalizagarriekin batera, tresna polifazetikoa eta ezinbestekoa bihurtzen du grabaketa, deposizioa eta ioien inplantazioa bezalako prozesuetan.

ESC chuck-ek tentsio handiko eremu elektrostatiko bat aplikatuz funtzionatzen du chuck-en elektrodoen eta oblearen artean, oblea bere horretan eusten duen indar erakargarri bat sortuz. Indar horren bidez bermatzen da oblea, normalean silizioz edo siliziozko karburoz egina, hutsune handiko inguruneetan operazio zehatzak ahalbidetuz. Sistema honek estutze mekanikoa edo hutsean garraiatzea ezabatzen du, eta horrek kutsatzaileak sartu edo oblea desitxuratu dezake. ESC chuck bat erabiliz, fabrikatzaileek ingurune garbiagoa eta egonkorrago bat lor dezakete fabrikazio prozesu delikatuetarako, etekin handiagoak eta emaitza koherenteagoak lortuz.

ESC teknologiaren abantail nagusietako bat obleari eusteko gaitasuna da, indarra gainazalean zehar uniformeki banatzen duen bitartean. Honek oblea laua eta egonkorra izaten jarraitzen duela bermatzen du, eta hori funtsezkoa da grabaketa edo deposizio uniformea ​​lortzeko, batez ere submikroen zehaztasuna behar den prozesuetan. ESC chuck-aren neurri pertsonalizagarriei esker, tamaina desberdinetako obleak hartzeko aukera ematen du, 200 mm eta 300 mm-ko obleak estandarretatik hasita ikerketa eta garapenean edo nitxo erdieroaleen gailuen ekoizpenean erabiltzen diren tamaina espezializatu eta ez-estandarrak.

ESC chuck-aren eraikuntzan erabilitako materialak arretaz hautatzen dira erdieroaleen prozesamenduan normalean aurkitu ohi diren ingurune gogorrekin bateragarritasuna bermatzeko. Garbitasun handiko zeramikazko alumina isolatzaile elektrikoen propietate bikainengatik, egonkortasun termikoarengatik eta plasma korrosioarekiko erresistentziagatik erabiltzen da. Propietate hauei esker, chuck-ak modu eraginkorrean funtzionatzen du tenperatura altuko nahiz huts handiko baldintzetan, gela garbiko ingurunean epe luzerako erabiltzeko behar den iraunkortasuna eta fidagarritasuna eskainiz.

Pertsonalizazioa ESC chucks-en beste abantaila garrantzitsu bat da. Erdieroaleen fabrikazio prozesu baten eskakizun espezifikoen arabera, chuck-aren dimentsioak, elektrodoen konfigurazioak eta materialen konposizioak egokitu daitezke prozesatzen ari diren ekipoen eta obleen behar bereziei erantzuteko. Aplikazioak plasma bidezko grabazioa, lurrun-deposizio kimikoa (CVD) edo lurrun-deposizio fisikoa (PVD) suposatzen duen ala ez, ESC chuck-a errendimendua optimizatzeko eta oblearen osotasuna mantentzeko prozesatzeko garaian diseinatu daiteke.