Chuck elektrostatikoa

Garbitasun handiko alumina zeramika erabiliz, Semicorex Electrostatic Chuck-ek goi mailako errendimendua eskaintzen du zehaztasuna, egonkortasuna eta garbitasuna lehenesten dituzten ezarpenetan. Alumina, aluminio oxidoa (Al2O3) izenez ere ezaguna, zeramikazko materiala da, bere isolamendu elektrikoaren propietate apartagatik, eroankortasun termiko handiagatik eta erresistentzia mekaniko bikainagatik. Propietate horiek material aproposa bihurtzen dute chuck elektrostatikoa eraikitzeko, erdieroaleen prozesatzeko baldintza zorrotzei aurre egiteko diseinatua. Alumina zeramikazko ESC tenperatura altuak, ingurune korrosiboak eta tentsio mekanikoa jasateko diseinatuta dago obleak manipulatu eta prozesatzeko garaian, gailu erdieroaleen errendimendua eta kalitatea bermatzeko zeregin garrantzitsua betetzen du.

Chuck elektrostatikoa atzean dagoen oinarrizko printzipioa indar elektrostatikoa da, ostia ondo eusteko erabiltzen dena. Indar hori zeramikazko materialaren barruan txertatutako elektrodoei tentsio bat aplikatuz sortzen da. Eremu elektrostatikoaren eta oblearen gainazalean eragindako kargaren arteko elkarreraginak oblea chuck-aren gainazalean eusten duen estutze-indar indartsua sortzen du. Alumina zeramikazko ESCaren diseinuak bermatzen du tintze-indar hori oblean zehar uniformeki banatzen dela, prozesatzeko garaian irristatze- edo kalte-arriskua gutxituz.

Chuck elektrostatikoen eraikuntzan alumina zeramika erabiltzearen abantail nagusietako bat bere propietate elektriko isolatzaile apartak dira. Aluminaren indar dielektriko handiak tentsio altuak aplikatzea ahalbidetzen du matxura elektrikoaren arriskurik gabe, eremu elektrostatikoaren osotasuna mantentzeko ezinbestekoa. Hau bereziki garrantzitsua da plasma bidezko grabaketa edo lurrun-deposizio kimikoa bezalako prozesuetan, non oblea ingurune oso erreaktiboetara jasaten baita eta tintze-indarraren aldakuntzak oblean akatsak edo kalteak sor ditzake.

Propietate elektrikoez gain, alumina zeramikazko eroankortasun termiko bikaina erakusten du, ezinbestekoa erdieroaleen prozesatzean sortzen den beroa kudeatzeko. Chuck elektrostatikoak beroa modu eraginkorrean xahutzeko duen gaitasunak oblean zehar tenperatura egonkorra mantentzen laguntzen du, deformazioa edo beste estres termikoa eragin dezaketen gradiente termikoak murrizten. Egonkortasun termiko hori funtsezkoa da fotolitografia bezalako prozesuen zehaztasuna eta errepikakortasuna bermatzeko, non tenperatura desbideratze txikiek ere emaitzan eragina izan dezaketen.