CVD Lurrun Kimikoen Deposizio Labeak

Semicorex CVD Chemical Vapor Deposition labeek kalitate handiko epitaxia fabrikazioa eraginkorragoa egiten dute. Labe pertsonalizatuak eskaintzen ditugu. Gure CVD Lurrun Kimikoen Deposizioko labeek prezio abantaila ona dute eta Europako eta Amerikako merkatu gehienak estaltzen dituzte. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

CVD eta CVIrako diseinatutako Semicorex CVD Lurrun Kimikoen Deposizio-labeak materialak substratu batean uzteko erabiltzen dira. Erreakzio-tenperaturak 2200 °C arte. Masa-fluxuaren kontrolak eta balbula modulatzaileak N, H, Ar, CO2, metanoa, silizio tetrakloruroa, metil triklorosilanoa eta amoniakoa bezalako gas erreaktiboak eta eramaileak koordinatzen dituzte. Jarritako materialen artean silizio karburoa, karbono pirolitikoa, boro nitruroa, zink seleniuroa eta zink sulfuroa daude. CVD Lurrun Kimikoaren Deposizio-labeek egitura horizontala eta bertikala dute.

Aplikazio:SiC estaldura C/C material konposatuetarako, SiC estaldura grafitorako, SiC, BN eta ZrC estaldura zuntzetarako eta abar.

Semicorex CVD Lurrun Kimikoen Deposizio labeen ezaugarriak

1. Diseinu sendoa kalitate handiko materialez egina epe luzerako erabiltzeko;

2.Zehazki kontrolatutako gasaren banaketa masa-fluxuaren kontrolagailuen eta kalitate handiko balbulen bidez;

3.Segurtasun-ezaugarriekin hornituta, hala nola tenperatura gehiegizko babesa eta gas-ihesak detektatzeko funtzionamendu seguru eta fidagarria izateko;

4.Tenperatura kontrolatzeko gune anitz erabiliz, tenperatura uniformetasun handia;

5.Bereziki diseinatutako deposizio-ganbera zigilatzeko efektu onarekin eta kutsaduraren aurkako errendimendu handiarekin;

6.Gas-fluxu uniformearekin deposizio-kanal anitz erabiliz, deposizio hildako ertz gabe eta deposizio-gainazal perfekturik gabe;

7.Alquitranaren, hauts solidoaren eta gas organikoen tratamendua du deposizio-prozesuan zehar

CVD Labearen zehaztapenak
Eredua	Lan eremuaren tamaina (W × H × L) mm	Max. Tenperatura (°C)	Tenperatura Uniformetasuna (°C)	Azken hutsean (Pa)	Presioaren igoera-tasa (Pa/h)
LFH-6900-SiC	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-SiC	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-SiC	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-SiC	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-SiC	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-SiC	Ï300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-SiC	Ï600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-SiC	Ï800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-SiC	Ï1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-SiC	Ï2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Goiko parametroak prozesuaren eskakizunetara egokitu daitezke, ez dira onarpen estandar gisa, xehetasun zehaztapenak. proposamen teknikoan eta akordioetan adieraziko da.