Alumina erdi-alumina muntatzeko oinarri-plakak errendimendu handiko zeramikazko osagaiak dira, erdieroaleen fabrikazioan manipulazio zehatza egiteko diseinatua. Bere indarra, isolamendua eta egonkortasun termikoa aproposa da garbitzeko automatizazio inguruneak eskatzen. *
Alumina erdierauxina muntatzeko oinarri-plakak, purutasun handiko zeramikazko produktuak dira, ernetutako fabrikazioko ekipamenduetan egindako lanak muntatzeko oinarri iraunkorrak eta egonkorrak direnak. Plaka hauek laguntza mekaniko kritikoa eta lerrokatzea eskaintzen dute, hala nola, litografia, grabaketa, deposizioa eta ikuskapena. Ezinbestekoa da lan-osagaiak beste sistema osagaiekin lerrokatzea, nahitaezko fideltasunarekin gerta daitekeela ziurtatzeko. Plakak zeramikarako espezieen tekniken bidez fabrikatzen dira, beharrezkoak diren neurriak lortzeko, tenperatura handiko iraunkortasuna eta epe luzeko fidagarritasuna lortzeko, erdieroaleen fabrikazio modernoaren eskakizun gogorrak betetzeko prozesuan eta garbitzeko inguruneetan.
Alumina erdi-alumina muntatzeko oinetako plakak garbitasun handiz egiten diraargiGarbitasun maila edukitzea ≧% 99,5 (tipikoa). Alumina altuko aluminak propietate mekaniko eta termiko onak ditu, baita gogortasuna ere. Alumina altuko aluminak berezko propietate isolatzaile bikainak ditu, plaka hauek hutsean eta tentsio handiko aplikazioetan erabiltzea ahalbidetzen dutenak, non interferentzia elektrikoak arazo izan daitezkeen. Alumina bizikleta termikoarekiko erresistentea izango da, plakak material gehienak baino dimentsio hobeak mantentzea ahalbidetzen duena eta onuragarria da lerrokadura edo egiturazko egonkortasuna mantentzeko, hedapen termiko murriztua dela eta. Faktore hau garrantzitsua da Chuck errepikagarritasuna eta prozesuaren tolerantzia inplizituak bermatzeko, ekoizpen ziklo hedatuetan funtzionatzen duen bitartean.
Erdieroaleen tratamendu sistemetan, muntatzeko oinarriaren plaka ez da soilik lotzeko mekanikorako gailua. Chuck eta gainerako ekipoen arteko harreman termikoaren euskarria da eta kritikoa da xahutzea, egiturazko osotasuna eta bibrazio isolamendua. CVD, PVD edo ioi inplantaziorako (baina ez bakarrik mugatuta) prozesatzeko ekintzak, tenperatura altuak eta hutsezko presioak ohikoak direnean, oinarrizko oinarria behar dute termikoki erresistenteak, kimikoki inerteak eta erresistenteak, mekanikoki soinuak eta shock termikoarekiko erresistenteak. Inertasun kimikoa ezinbestekoa da, muntatzeak gas erreaktiboekin bateragarria izan behar duelako, baita kimika garbiak ere, mendiaren bizitza erabilgarria luzatu eta kutsadura prebenitzeko eta kutsadura prebenitzeko.
Erdizerek egindako alumina muntatzeko oinarri-plaka bakoitza, erdieroaleen olioak eta ekipamendu integratzaileak eskatutako tolerantziketetarako mekanizatuta dago. Plakak lodiera, altuera aldakuntzarako eta lautadaren tolerantzia estuentzat mekanizatuta daude, egonkortasun eta errepikapen maximoa bermatzeko. Muntatzeko xafla hauek zuloak, zirrikituak edo kontagailuak bezeroaren zehaztapenekin egin daitezke, lan-txuletak, etapa mekanikoak edo bestelako ekipamenduak hobeto egokitzeko. Alumina zeramikak sinterizatzeko eta zehaztasunez ehotzeko teknika modernoak erabiliz prozesatzen da, mikroegitura uniformea eta gainazalaren kalitatea optimizatzeko, kontaktu termiko koherentea eta lerrokatzea denboran zehar erabiltzeko.
Semikorxako alumina muntatzeko oinarri-plakak hainbat aplikaziotan erabiltzen dira, besteak beste, wafer manipulatzaile, transferentzia sistemen, hutsean chuck batzarren multzoak eta metrologia faseetan. Fidagarritasun eta iraunkortasun horrek prozesu zorrotzaren egoeretan, aukera-produktua aukera ematen die erreminta fabrikatzaileekin, iraunkortasun iraunkorreko zeramikazko osagaiak bilatzen dituztenak. Gure ingeniaritza taldeak bezeroekin bikotekideak dira plater bakoitzerako zehaztutako irtenbide bereziak emateko, erdieroale batean ekoizpenerako eraginkortasuna ahalik eta gehien aprobetxatzeko.
Alumina muntatzeko oinetako plakak laguntza mekaniko bat baino gehiago dira; Erdieroaleen industrian zehaztasun ingeniaritzan funtsezko osagaia da. Egonkortasun mekaniko bikainarekin, garbitasunarekin eta konfiguragarritasunarekin, lerrokatze zehatza, bizitza luzea eta funtzionamendu fidagarria bermatzen dituzte prozesu tresna sorta zabal batean. Errendimendu handiko oinarrizko oinetako plakak egiteko, gaur egungo erdieroaleen fabrikatzaileen itxaropen handiak betetzen ditu, fidatu erdierox.