Zelaiaren zeramikazko amaiera Eraginkorra zehaztasunez diseinatutako osagaia da, bereziki fidagarria eta kutsadurarik gabeko obraziorako diseinatutakoa, erdieroaleen fabrikazioan eta erlazionatutako aplikazioetan. *
Zelaiaren erdiko zeramikazko efektua funtsezko tresna da wafer transferentziaren sistema automatizatuetan, ez datozen indar mekanikoa, egonkortasun termikoa eta erresistentzia kimikoa eskaintzen dituena. Gaueko garbitasuna erabiliz fabrikatuaAlumina (alo₂o₃) zeramikazkoa, amaierako efektu hau Wafer prozesatzeko inguruneen eskaera zorrotzak betetzeko diseinatuta dago, zehaztasuna, garbitasuna eta iraunkortasuna funtsezkoak direnean.
Robot beso erdieroaleak ekipamendu erdieroaleen zati garrantzitsuenetako bat dira. Normalean kontrolatzaile, gidariek, besoak eta amaierako efektuak osatzen dituzte. Garbitasun handia, egonkortasun handia, zehaztasun handia, eraginkortasun handia eta fidagarritasun handia ditu. Erdieroaleen robotak batez ere erdieroaleen fabrikazioko fabrikazioaren aurrealdeko prozesuan erabiltzen dira, garraioak eta kokapenak.
Zeramikazko egitura% 99,5 baino handiagoa izan ohi da aluminaren edukia% 99,5ek gorabehera eta higadura erresistentzia handiagoa izango du doitasun handiko inguruneetan mugimenduak behin eta berriz degradatu gabe. Erosketa termiko altua eta aluminaren hedapen termiko baxuak tenperatura altuarekin batera dimentsioaren egonkortasuna ahalbidetzen du, erdieroaleetan garbitzeko operazio gehienetan, hala nola, eTcher, gordailua, ikuskapen edo garbiketa tresna batean.
-Aalumina zeramikaAmaierako eraginkorrak leuna den gainazaleko akabera nabarmenagoa du eta porositate baxua du, zero partikula eta minimizazio edo zero efektuaren gaineko kutsatzaileetan. Gainera, alumina kimikoki inertea da. Horrek esan nahi du ez duela prozesuko gasekin erreakzionatuko eta xaflak kontaktuan dauden prozesuko likidoekin. Horrek obra eta kutsadura eta edozein kutsadura babesten ditu korrosioa sor dezakeen edozer.
Oro har, amaiera-efektuentzako edo estutze-mekanismo gisa erabiltzen dira, Wafer Fabrikazioko Ekipamenduak edo Transferitzeko moduluak eTcherren edo metrorizaziorako tresnetan, ikuskapen edo garbiketa tresnetan, zirrikituak, zirrikituak edo hutsezko tresnak. Amaierako efektuak normalean 25 cm / segundoko wafer transferentziak kudeatuko ditu.
Pertsonalizazio aukerak ekipamendu-interfaze edo obrazio berezietarako diseinatutako lerroetan daude. Aluminiaren zurruntasun estrukturalak manipulazio sistemaren masa orokorra gutxitzen duten profil meheak eta arinak ahalbidetzen ditu eta erantzun-denbora azkarragoak ekarriko dituzte. Konfigurazio batzuek osagai anti-estatiko edo isolatzaileak ere gehitu ditzakete substratu elektroniko sentikorrei babes osagarria emateko.
Oro har, Alumina Zeramikazko Efficor-ek irtenbide eraginkorra eskaintzen du errendimendu hobetua eta kutsadura murriztua sustatzen dituena, non fidagarritasun operatiboa funtsezko elementuak dira Waferren prozesatzeko linearako elementuak. Iraunkortasunarekin eta errendimendu fisikoaren ezaugarriekin, alumina zeramikazko efektu eraginkorrak eraginkorrak eta kostu eraginkorrak bereizten ditu erdieroaleen ekipoen fabrikatzaileen eta fabrikatzaileen erdieroalen artean.