15" kuartzozko kanpai potea

Semicorex 15" Quartz Bell Jar erronka horiei aurre egiteko diseinatuta dago, eskala ertain-handiko loteen prozesatzeko errendimendu handiko irtenbidea eskaintzen du, non uniformetasun termikoa eta materialaren garbitasuna ezinbestekoak diren etekina maximizatzeko. Erdieroaleen eta film meheen industrietan, prozesu-ganberaren osotasuna funtsezkoa da. ingurune geldoa negoziaezina bihurtzen da.

1. Materialen Zientzia: Silice Fusionaren purutasuna

Gure kanpai-potearen oinarria purutasun handikoa dasilize urtua (kuarzoa). Beira estandarra ez bezala, kuartzoa SiO2z osatuta dago ia osorik, eta erdieroaleak fabrikatzeko ezinbestekoak diren propietate bereziak eskaintzen ditu:

Kutsadura ultra-baxua: gure kuartzoa oligoelementu metalikoak (adibidez, Al, Fe, Na eta K, esaterako) milioika zatiko (ppb) mailara murrizteko prozesatzen da. Horrek oblean ezpurutasunak zabaltzea eragozten du tenperatura altuko zikloetan, gailuen osotasun elektrikoa bermatuz.

Shock Termikoen Erresistentzia Gorena: Kuartzoak Hedapen Termikoaren Koefizientea (CTE) ia zero du. Horri esker, 15 "kuartzozko kanpai-ontziari tenperatura azkar igotzea eta itzaltzea jasaten da, haustura edo egitura-nekea izateko arriskurik gabe, errendimendu handiko erreaktoreentzako baldintza kritikoa.

Inertetasun kimiko bikaina: kuartzoa oso erresistentea da azido gehienekiko (azido fluorhidrikoa izan ezik) eta prozesuko gas korrosiboekiko, ganbera ez dela degradatzen edo gasik ateratzen bermatuz grabaketa edo deposizio-ziklo oldarkorretan.

2. Doitasun-ingeniaritza eta argitasun optikoa

15" Quartz Bell Jar-ek bolumen maximoa eta gas-fluxuaren dinamika optimoa eskaintzen ditu loteka obleak prozesatzeko helburuarekin. Potoak tximinia bertikal bat du (lepo gisa ere ezagutzen dena) gasaren sarrera bat emateko edo pototik hutsean gasa ateratzen laguntzeko, goiko irudian erakusten dena.

Gardentasun optikoa - Transmisio maila altuakuartzozko materialauhin-luzerak igortzeak espektroaren ultramore, ikusgai eta infragorrietako eskualdeetan denbora errealean prozesatzeko aukera ematen du, baita kanpoko lanpara-berogailuak erabiltzea prozesatu termiko azkarrerako (RTP).

Indartutako zigilatzeko gainazalak - Potearen lepoak bereziki garaturiko zigilu zuri opako bat du (lur-juntura gisa ere deitzen zaio) eta erreaktorearen oinarri-plaka eta potearen arteko interfaze hermetikoa (airez zigilatua) eta hutsean hermetiko bat eskaintzen du.

Estresa arintzeko errekuzitzea - ​​15" kuartzozko kanpai-ontzi guztiek ontziaren barruko tentsio mekanikoa arintzeko prozesu mekanikoa jasaten dute potoa putz egin edo konformatzeko prozesu mekanikoaren bidez, eta, beraz, nabarmen murrizten dute pote bat hutsean kargapean jartzen denean berez huts egiteko aukera.

3. Aplikazio kritikoak Fab Erdieroalean

Gure 15" kuartzozko kanpai-ontzia balio handiko prozesu hauetan integratzeko bereziki diseinatuta dago:

Silizio Epitaxia: kristal bakarreko silizio geruzak kalitate handiko kristal bakarreko silizio geruzak hazteko ontzi garden eta ez-erreaktiboa eskaintzea.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Plasma-ingurune korrosiboari eusten dio, indar dielektriko handia mantenduz.

Hedapena eta oxidazioa: ate oxidoen eta dopatzaileen drive-in eratzeko bero handiko ganbera gisa balio du.

Zuntz optikoko aurreformaren ekoizpena: beira berezien fabrikazioan silize-geruzen purutasun handiko deposiziorako aproposa.

Semicorex-en, kanpai-poto bakoitza zehaztasun laborategiko ekipo gisa maneiatzen dugu. Gure prozesuak barne hartzen ditu: Materialen hornikuntza zorrotza, kalitate elektroniko egiaztatuarekinkuartzoalingoteak; fabrikazio aurreratua, beira-puzte tradizionalak CNC bidez kontrolatutako artezketa eta leunketarekin uztartzen dituena; eta ikuskapen sakona argi polarizatua erabiliz hondar-tentsioa eta laser-interferometria detektatzeko dimentsio-kontrol zehatzak egiteko.