Siliziozko karburoko ostia

Erdieroaleen fabrikazioan, oxidazioak oblea tenperatura altuko ingurune batean jartzea dakar, non oxigenoa oblearen gainazalean zehar oxido geruza bat osatzeko. Honek oblea ezpurutasun kimikoetatik babesten du, ihes-korrontea zirkuituan sartzea ekiditen du, ioiak ezartzean difusioa eragozten du eta oblea labaintzea saihesten du grabatzean, oblearen gainazalean babes-film bat osatuz. Urrats honetan erabiltzen den ekipamendua oxidazio-labea da. Erreakzio-ganberaren osagai nagusiak ostia-ontzi bat, oinarria, labearen atorraren hodiak, labearen barruko hodiak eta isolamendu termikoko bafleak dira. Funtzionamendu-tenperatura altua dela eta, erreakzio-ganberaren osagaien errendimendu-eskakizunak ere handiak dira.

Theostia-ontziaostia garraiatzeko eta prozesatzeko eramaile gisa erabiltzen da. Abantaila izan behar ditu, hala nola integrazio handia, fidagarritasun handia, propietate antiestatikoak, tenperatura altuko erresistentzia, higadura erresistentzia, deformazioarekiko erresistentzia, egonkortasun ona eta bizitza luzea. Obleen oxidazio-tenperatura gutxi gorabehera 800 ℃ eta 1300 ℃ artekoa denez, eta inguruneko ezpurutasun metalikoen edukiari buruzko baldintzak oso zorrotzak direnez, obleen ontzia bezalako osagai nagusiek propietate termiko, mekaniko eta kimiko bikainak izan behar dituzte, baizik eta ezpurutasun metalikoen eduki oso baxua izan behar dute. Substratuaren arabera, kuartzozko obleen ontzietan, silizio karburozko zeramikazko oblean, etab. Hala ere, 7nm-tik beherako prozesu-nodoen aurrerapenarekin eta tenperatura altuko prozesuko leihoen hedapenarekin, kuartzozko itsasontzi tradizionalak gutxika-gutxika desegokiak dira egonkortasun termikoari, partikulen kontrolari eta bizitzaren kudeaketari dagokionez. Silizio karburoa (SiC) itsasontziak kuartzozko soluzio tradizionalak ordezkatzen ari dira pixkanaka.

1. Erdieroaleen Fabrikazioa

Txirbilak fabrikatzeko tenperatura altuko prozesuetan, hala nola, oxidazioan, difusioan, lurrun-deposizio kimikoan (CVD) eta ioien inplantazioan, SiC itsasontziak erabiltzen dira siliziozko obleak eusteko, obleak tenperatura altuetan lauak mantentzen direla bermatuz eta tentsio termikoak eragindako sarearen lerrokatzea edo deformazioa saihestuz, horrela txiparen zehaztasuna eta errendimendua bermatuz.

2. Industria Fotovoltaikoa

Silizio karburozko zeramikazko erresistentzia mekaniko bikaina, egonkortasun termikoa, tenperatura altuko erresistentzia, oxidazio erresistentzia, shock termikoaren erresistentzia eta korrosio kimikoaren erresistentzia oso erabiliak dira, hala nola, metalurgia, makineria, energia berria eta eraikuntzako material kimikoak. Bere errendimendua nahikoa da fabrikazio fotovoltaikoko prozesu termikoetarako, hala nola difusioa, LPCVD (presio baxuko lurrun-deposizio kimikoa) eta PECVD (plasma-lurrun-deposizio kimikoa) TOPcon zeluletarako. Kuartzozko material tradizionalekin alderatuta, itsasontzien euskarriak egiteko erabiltzen diren silizio karburozko zeramikazko materialek, itsasontzi txikiek eta produktu tubulark indar handiagoa, egonkortasun termiko hobea eta tenperatura altuetan deformaziorik ez dute eskaintzen. Haien bizi-iraupena, gainera, kuartzoarena baino bost aldiz handiagoa da, eta, ondorioz, funtzionamendu-kostuak eta energia-galerak nabarmen murrizten dira mantentze-geldialdien ondorioz. Horrek kostu abantaila argia dakar eta lehengaiak oso eskuragarri daude.

3. Hirugarren belaunaldiko erdieroaleen industria

Metal-organiko-lurrun-deposizio kimikoko (MOCVD) erreakzio-ganberetan, silizio-karburoko ontziak erabiltzen dira zafiro-substratuei eusteko, gas-ingurune korrosiboak jasaten, hala nola amoniakoa (NH3), hirugarren belaunaldiko material erdieroaleen hazkuntza epitaxiala lagunduz, hala nola galio nitruroa (GaN), eta LED txip-en argi-eraginkortasuna eta errendimendua hobetuz. Silizio karburozko kristal bakarreko hazkuntzan, silizio karburozko itsasontziek hazi kristalezko euskarri gisa balio dute silizio karburozko kristal bakarreko hazkuntza labeetan, silizio urtuaren tenperatura altuko ingurune korrosiboari eutsiz, silizio karburozko kristal bakarren hazkuntzarako euskarri egonkorra eskaintzen dute eta kalitate handiko silizio karburozko kristal bakarren prestaketa sustatzen dute.

Semicorex-ek kalitate handiko SiC zeramika hornitzen duostia-ontziak. Gure produktuak egonkortasun termiko handiagoa, zerbitzu-bizitza luzea eta prozesuen koherentzia paregabea emateko diseinatuta daude. Soluzio pertsonalizatuak edo informazio tekniko osagarria lortzeko, jar zaitez gure ingeniaritza taldearekin harremanetan.

Telefonoa: +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com