Errekotetze-prozesuak Erdieroaleen Fabrikazio Modernoan

Teknologia-nodoak uzkurtzen jarraitzen duten heinean, bilgune ultra-azaleak sortzeak erronka handiak ditu. Errekuzitu termikoko prozesuak barneErrekuzitu termiko azkarra (RTA)eta flash lamp annealing (FLA) ezinbesteko teknikak dira, ezpurutasun-aktibazio-tasa handiak mantentzen dituzten bitartean difusioa minimizatzen duten bitartean, gailuaren errendimendu optimoa bermatuz.

1. Bilgune ultra-azaleko eraketa:

Teknologia-nodoak uzkurtzen diren heinean, bilgune ultra-azalekoak eratzea gero eta erronka handiagoa da. Errekuzitu termiko azkarra bezalako teknikak (RTA) eta flash lanpara annealing (FLA) funtsezkoak dira ezpurutasun-aktibazio-tasa handiak lortzeko difusioa minimizatzen duten bitartean, horrela gailuaren errendimendu optimoa bermatuz.

2. Goi-k ate dielektrikoen aldaketa:

Post-deposition annealing (PDA) k goi-ateko dielektrikoen propietate elektrikoak nabarmen hobetzen ditu. Prozesu honek atearen ihes-korronteak murrizten ditu eta konstante dielektrikoak handitzen ditu, ezinbestekoak direnak logika eta memoria aurreratuetarako gailuetarako.

3. Metal-siliziuroen eraketa:

Metal-siliziuroen optimizazioa, hala nola CoSi eta NiSi, ezinbestekoa da kontaktua eta ontziraturiko erresistentzia hobetzeko. Errekuzitzeko baldintzen gaineko kontrol zehatzak aleazio-fase idealak sortzea errazten du, gailuaren eraginkortasun orokorra areagotuz.

4. 3D Integrazio Teknologiak:

3D NAND eta 3D DRAM bezalako teknologietan, annealing-prozesuak hainbat geruzatan aplikatu behar dira. Teknika termiko azkarrek funtsezko eginkizuna dute geruza bakoitzak errendimendu optimoa lortzen duela ziurtatzeko.

Errekostea funtsezkoa da erdieroaleen fabrikazioan, sarearen kalteak konpontzea, ezpurutasunak aktibatzea, pelikula aldatzea eta metal siziluroa eratzea ahalbidetuz tenperatura, denbora eta aurrekontu termikoen kontrol zehatzaren bidez. Teknologia-nodoak uzkurtzen diren heinean, erretiro-metodo aurreratuak bezalakoakRTA, FLA eta laser erpinak errekuzitzea nagusi bihurtu dira. Aurrera begira, errekuzitzeko prozesuak berritzen jarraituko du sortzen ari diren materialen eta gailuen eskaerei erantzuteko.

Semicorex-ek industria liderra eskaintzen durecozitzeko soluzioak, zure gailu erdieroaleek errendimendu estandar gorenak zehaztasun eta fidagarritasunarekin betetzen dituztela ziurtatuz.

Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com