Zer da Electrostatic Chuck (ESC)?

Erdieroaleen fabrikazioan, grabaketa-prozesuaren zehaztasuna eta egonkortasuna funtsezkoak dira. Kalitate handiko grabatua lortzeko faktore kritiko bat obleak erretiluan prozesuan zehar guztiz lauak daudela ziurtatzea da. Edozein desbideratzek ioien bonbardaketa irregularra ekar dezake, angelu desiragarriak eta grabazio-tasetan aldakuntzak eraginez. Erronka horiei aurre egiteko, ingeniariak garatu diraChuck elektrostatikoak (ESC), grabazioaren kalitatea eta egonkortasuna nabarmen hobetu dutenak. Artikulu honek ESCen diseinuan eta funtzionaltasunean sakontzen du, funtsezko alderdi batean zentratuz: obleen atxikimenduaren atzean dauden printzipio elektrostatikoak.

Wafer-atxikimendu elektrostatikoa

atzean dagoen printzipioaESCOstia bat segurtasunez eusteko gaitasuna bere diseinu elektrostatikoan datza. Bi elektrodo konfigurazio nagusi erabiltzen diraESCs: elektrodo bakarreko eta elektrodo bikoitzeko diseinuak.

Elektrodo bakarreko diseinua: diseinu honetan, elektrodo osoa uniformeki zabaltzen daESCazalera. Eraginkorra izan arren, atxikimendu-indar eta eremu-uniformitate maila moderatua eskaintzen du.

Elektrodo bikoitzeko diseinua: elektrodo bikoitzeko diseinuak, ordea, tentsio positiboak eta negatiboak erabiltzen ditu eremu elektrostatiko indartsuagoa eta uniformeagoa sortzeko. Diseinu honek atxikimendu-indar handiagoa eskaintzen du eta ostia ESC gainazalean estu eta uniformeki eusten dela bermatzen du.

Elektrodoei DC tentsioa aplikatzen zaienean, eremu elektrostatiko bat sortzen da elektrodoen eta oblearen artean. Eremu hori geruza isolatzailean zehar hedatzen da eta oblearen atzealdearekin elkarreragiten du. Eremu elektrikoak obleen gainazaleko kargak birbanatzea edo polarizazioa eragiten du. Dopatutako siliziozko obleetan, karga askeak eremu elektrikoaren eraginez mugitzen dira: karga positiboak elektrodo negatiborantz mugitzen dira eta negatiboak elektrodo positiborantz. Dopatu gabeko edo oble isolatzaileen kasuan, eremu elektrikoak barne kargen desplazamendu apur bat eragiten du, dipoloak sortuz. Sortzen den indar elektrostatikoak irmo eusten dio olata zorroari. Indar honen indarra Coulomb-en legea eta eremu elektrikoaren indarra erabiliz hurbil daiteke.