Zeintzuk dira Aguaforte Lehorren eta Hezearen Aguafortearen abantailak eta txarrak?

1. Zer dira akuaforte lehorra eta hezea?

Lehorreko grabaketa likidorik ez duen teknika bat da, plasma edo gas erreaktiboak erabiliz material solidoa obleen gainazalean grabatzeko. Metodo hau ezinbestekoa da txip produktu gehienen ekoizpenean, hala nola DRAM eta Flash memorian, non grabaketa hezea erabili ezin den. Aguaforte hezea, berriz, soluzio kimiko likidoak erabiltzea dakar material solidoa obleen gainazalean grabatzeko. Txip-produktu guztietan unibertsalki aplikagarria ez den arren, heze-grabaketa oso erabilia da obleen mailako ontzietan, MEMSetan, gailu optoelektronikoetan eta fotovoltaikoetan.

2. Zeintzuk dira Aguaforte Lehorren eta Hezearen Ezaugarriak?

Lehenik eta behin, argi ditzagun grabaketa isotropiko eta anisotropoaren kontzeptuak. Aguaforte isotropikoak plano bereko norabide guztietan uniformea ​​den grabazio-tasa bati erreferentzia egiten dio, harri bat ur bareetara botatzen denean uhinak uniformeki zabaltzen direnaren antzera. Aguaforte anisotropikoak esan nahi du grabaketa-tasa plano berean norabide ezberdinetan aldatzen dela.

Aguaforte hezea isotropoa da. Ostia akuaforte-soluzioarekin kontaktuan jartzen denean, beherantz grabatzen du alboko grabaketa ere eragiten du. Alboko grabaketa honek definitutako lerroaren zabaleran eragin dezake, eta grabaketa desbideratze handiak eragin ditzake. Beraz, grabaketa hezea zaila da grabatzeko formak zehatz-mehatz kontrolatzea, eta ez da hain egokia 2 mikrometro baino txikiagoak diren ezaugarrietarako.

Aitzitik, lehorreko grabaketak grabatu formaren kontrol zehatzagoa ahalbidetzen du eta grabatzeko metodo malguagoak eskaintzen ditu. Aguaforte lehorrak grabatu isotropo zein anisotropo lor ditzake. Grabaketa anisotropikoak profil konikoak (angelua <90 gradu) eta bertikalak (angelua ≈90 gradu) sor ditzake.

Laburtzeko:

1.1 Lehorreko grabaketaren abantailak (adibidez, RIE)

Norabidezkotasuna: norabide altua lor dezake, alboko horma bertikalak eta aspektu-erlazio handiak eraginez.

Selektibitatea: Aguafortearen selektibitatea optimiza dezake, grabatzeko gas eta parametro zehatzak aukeratuz.

Bereizmen handikoa: Ezaugarri finetarako eta lubaki sakoneko grabatuetarako egokia.

1.2 Aguaforte hezearen abantailak

Soiltasuna eta kostu-eraginkortasuna: Aguaforteko likidoak eta ekipoak, oro har, lehorrean grabatzeko erabiltzen direnak baino ekonomikoagoak dira.

Uniformetasuna: grabaketa uniformea ​​eskaintzen du ostia osoan zehar.

Ez da ekipamendu konplexurik behar: normalean murgiltze-bainua edo spin-estaldura-ekipo bat besterik ez da behar.

3. Aguaforte lehorra eta hezea aukeratzea

Lehenik eta behin, txip-produktuaren prozesu-eskakizunetan oinarrituta, akuaforte lehorrak soilik akuaforte-zereginak bete ditzakete, aukeratu grabaketa lehorra. Aguaforte lehorrak zein hezeak baldintzak bete ditzakete, oro har, akuaforte hezea hobesten da bere kostu-eraginkortasuna dela eta. Lerroaren zabaleraren edo angelu bertikal/konikoen kontrol zehatza behar bada, aukeratu grabaketa lehorra.

Hala ere, zenbait egitura berezi grabatu behar dira hezea erabiliz. Esate baterako, MEMS-en, grabatutako silizioaren piramide alderantzizko egitura grabaketa hezearen bidez soilik lor daiteke.**