TaC estaldura CVD metodoarekin

Tantalio karburoaren estaldura erresistentzia handiko, korrosioarekiko erresistentea eta kimikoki egonkorra den tenperatura altuko egiturazko materiala da, 4273 °C arteko urtze-puntua duena, tenperatura erresistentzia handiena duten konposatuetako bat. Tenperatura altuko propietate mekaniko bikainak ditu, abiadura handiko aire-fluxuaren urraketaren aurkako erresistentzia, ablazioaren erresistentzia eta grafito eta karbono/karbono konposatuekin bateragarritasun kimiko eta mekaniko ona ditu. Hori dela eta, GaN LED eta SiC potentzia-gailuen prozesu epitaxialean, hala nola MOCVD, TaC estaldurak H2, HCl, NH3-ren azido eta alkali erresistentzia bikaina du, grafitozko substratuaren materiala guztiz babestu eta hazkuntza-ingurunea arazteko.

TaC estaldura egonkorra izaten jarraitzen du 2000 °C-tik gorako tenperaturetan, SiC estaldura 1200-1400 °C-tan deskonposatzen hasten den bitartean, eta horrek grafitoaren substratuaren osotasuna ere asko hobetuko du. Gaur egun, tantalio karburoko estaldurak grafitoko substratuetan prestatzen dira batez ere CVD bidez, eta TaC estalduren produkzio-ahalmena are gehiago hobetuko da SiC potentzia-gailuen eta GaNLEDs epitaxial-gailuen eskaerari erantzuteko.

Tanto karburoko estaldurak karbonozko materialetan lurrun-deposizio kimikoen bidez (CVD) metatzeko erabiltzen den erreakzio kimikoa TaCl5, C3H6, H2 eta Ar da, non Ar diluitzeko eta garraiatzeko gas gisa erabiltzen den.

Tantalio-karburozko estaldurek funtsezko zeregina dute GaN LED eta SiC potentzia-gailuen prozesu epitaxialean MOCVD erabiliz. Material aurreratuek funtsezko osagaiak babesten dituzte, haien iraupena eta errendimendua bermatuz tenperatura altuko erdieroaleen fabrikazioarekin lotutako baldintza gogorretan.

SiC potentzia-gailuen eta GaN LEDen eskariak gora egiten jarraitzen duen heinean, tantalio karburoko estalduren ekoizpen-ahalmena hedatuko da. Fabrikatzaileak industria horien gero eta eskakizunak betetzeko prest daude, tenperatura altuko teknologiaren bilakaera erraztuz.

Laburbilduz,tantalio karburozko estaldurakjauzi teknologiko ikaragarria adierazten dute tenperatura altuko inguruneetan materialen iraunkortasuna eta fidagarritasuna bermatzeko. Erdieroaleen eta potentzia elektronikaren sektoreak iraultzen jarraitzen duten heinean, estaldura hauek goi-teknologiako aurrerapen modernoen elementu kritiko gisa duten egoera azpimarratzen dute.