Zer dira SiC estalitako grafito suszeptoreak?

SiC obleak onartzen dituen erretilua (oinarria), " izenez ere ezagunafuneraria," erdieroaleak fabrikatzeko ekipoen oinarrizko osagaia da. Eta zer da zehazki obleak eramaten dituen suszeptore hori?

Obleak fabrikatzeko prozesuan, substratuak gehiago eraiki behar dira geruza epitaxialekin gailuak fabrikatzeko. Adibide tipikoen artean daudeLED igorleak, silizioko substratuen gainean GaAs epitaxial geruza eskatzen dutenak; SiC substratu eroaleetan, SiC geruza epitaxialak hazten dira SBD eta MOSFET bezalako gailuetarako, tentsio handiko eta korronte handiko aplikazioetan erabiltzen direnak; onSiC substratu erdi isolatzaileakGaN geruza epitaxialak HEMT bezalako gailuak eraikitzeko eraikitzen dira, RF aplikazioetan komunikazioak bezalakoak. Prozesu hau CVD ekipoetan oinarritzen da.

CVD ekipoetan, substratuak ezin dira zuzenean jarri metalaren gainean edo deposizio epitaxialaren oinarri soil batean, hainbat faktore eragiten baitituzte, hala nola gasaren fluxuaren norabidea (horizontala, bertikala), tenperatura, presioa, egonkortasuna eta kutsatzaileak kentzea. Hori dela eta, CVD teknologia erabili aurretik substratua jartzeko oinarri bat behar da geruza epitaxialak substratuan jartzeko. Oinarri hau a bezala ezagutzen daSiC estalitako grafito hargailua(oinarria/erretilua/eramailea ere deitzen zaio).

SiC estalitako grafito suszeptoreak normalean erabiltzen dira lurrun kimiko metalorganikoen jalkitze (MOCVD) ekipoetan kristal bakarreko substratuak eusteko eta berotzeko. SiC-ez estalitako grafito suszeptoreen egonkortasun termikoak eta uniformitateak zeregin erabakigarria dute epitaxialaren hazkuntzaren kalitatea zehazteko, MOCVD ekipoen osagai kritiko bihurtuz.

MOCVD teknologia gaur egun GaN film mehe epitaxia hazteko teknika nagusia da LED urdinen ekoizpenean. Abantailak eskaintzen ditu, hala nola funtzionamendu sinplea, hazkuntza-tasa kontrolagarria eta ekoitzitako GaN film meheen purutasun handia. GaN film mehe epitaxialaren hazkunderako erabiltzen diren suszeptoreek, MOCVD ekipamenduaren erreakzio-ganberaren osagai garrantzitsu gisa, tenperatura altuko erresistentzia, eroankortasun termiko uniformea, egonkortasun kimiko ona eta shock termikoaren aurkako erresistentzia handia izan behar dute. Grafitozko materialek baldintza hauek bete ditzakete.

Grafito suszeptoreak MOCVD ekipamenduaren osagai nagusietako bat dira eta substratu-obletarako bero-igorle gisa balio dute, film meheko materialen uniformetasunean eta garbitasunean zuzenean eragiten dutenak. Ondorioz, haien kalitateak zuzenean eragiten du Epi-Wafer-en prestaketan. Hala ere, produkzioan, grafitoa korrosiboa eta degradatu egin daiteke gas korrosiboak eta konposatu metalorganiko hondarrak egoteagatik, eta grafito suszeptoreen bizi-iraupena nabarmen murriztuz. Gainera, eroritako grafito-hautsak txipetan kutsadura eragin dezake.

Estaldura-teknologiaren sorrerak arazo honi irtenbidea ematen dio gainazaleko hautsaren finkapena, eroankortasun termiko hobetua eta bero banaketa orekatua eskainiz. MOCVD ekipoen ingurunean erabiltzen diren grafito suszeptoreen gainazaleko estaldurak ezaugarri hauek izan behar ditu:

1. Grafitoaren oinarria dentsitate onarekin guztiz ixteko gaitasuna, grafitoaren suszeptorea gas korrosiboko inguruneetan korrosioa jasaten baita.

2. Lotura sendoa grafitoaren susceptorarekin estaldura ez dela erraz askatzen tenperatura altuko eta tenperatura baxuko hainbat zikloren ondoren.

3. Egonkortasun kimiko bikaina estaldura eraginkorra izan ez dadin tenperatura altuko eta korrosiboko giroetan. SiC-k abantailak ditu, hala nola, korrosioarekiko erresistentzia, eroankortasun termiko handia, shock termikoarekiko erresistentzia eta egonkortasun kimiko handia, eta GaN atmosfera epitaxialetan lan egiteko aproposa da. Gainera, SiC-ren hedapen termikoaren koefizientea grafitoarenaren oso hurbil dago, grafito suszeptoreen gainazala estaltzeko material hobetsia da.

Semicorex-ek CVD SiC estalitako grafito suszeptoreak fabrikatzen ditu, SiC pieza pertsonalizatuak ekoizten ditu, hala nola obleak, cantilever-palak, hodiak, etab. Edozein kontsulta edo xehetasun gehiago behar izanez gero, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com