SiC epitaxia

Bi epitaxia mota daude: homogeneoa eta heterogeneoa. Erresistentzia espezifikoa duten SiC gailuak eta aplikazio desberdinetarako beste parametro batzuk ekoizteko, substratuak epitaxiaren baldintzak bete behar ditu ekoizpena hasi aurretik. Epitaxiaren kalitateak gailuaren errendimenduari eragiten dio.

Gaur egun bi metodo epitaxial nagusi daude. Lehenengoa epitaxia homogeneoa da, non SiC filma SiC substratu eroale batean hazten den. Hau MOSFET, IGBT eta tentsio handiko beste erdieroale eremuetarako erabiltzen da batez ere. Bigarrena hazkunde heteroepitaxiala da, non GaN filma SiC substratu erdi isolatzaile batean hazten den. GaN HEMT eta tentsio baxuko eta ertaineko beste erdieroaleetarako erabiltzen da, baita irrati-maiztasun eta gailu optoelektronikoetarako ere.

Prozesu epitaxialen artean daude sublimazioa edo lurrun-garraio fisikoa (PVT), izpi molekularra epitaxia (MBE), fase likidoaren epitaxia (LPE) eta lurrun fase kimikoa (CVD). SiC ekoizpen epitaxial homogeneoaren metodo nagusiak H2 erabiltzen du gas eramaile gisa, silanoa (SiH4) eta propanoa (C3H8) Si eta C-ren iturri gisa. SiC molekulak erreakzio kimiko baten bidez sortzen dira prezipitazio-ganberan eta SiC substratuan metatzen dira. .

SiC epitaxiaren funtsezko parametroak lodiera eta dopinaren kontzentrazio-uniformitatea dira. Behean gailuaren aplikazio-eszenatokiko tentsioa handitzen den heinean, geruza epitaxialaren lodiera pixkanaka handitzen da eta dopin-kontzentrazioa gutxitzen da.

SiC ahalmenaren eraikuntzaren faktore mugatzaile bat ekipamendu epitaxiala da. Hazkunde epitaxialeko ekipamendua Italiako LPE, Alemaniako AIXTRON eta Japoniako Nuflare eta TELek monopolizatuta dago. SiC tenperatura altuko epitaxial ekipamenduak emateko ziklo nagusia 1,5-2 urte ingurura luzatu da.

Semicorex-ek SiC piezak eskaintzen ditu erdieroaleen ekipoetarako, hala nola LPE, Aixtron eta abar. Edozein kontsulta edo xehetasun gehiago behar baduzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com