SiC kristalen akatsei buruz - Micropipe

SiC substratuak akats mikroskopikoak izan ditzake, hala nola Threading Screw Dislocation (TSD), Threading Edge Dislocation (TED), Base Plane Dislocation (BPD) eta beste batzuk. Akats horiek atomo mailan atomoen antolamenduaren desbideratzeek eragiten dituzte. SiC kristalek dislokazio makroskopikoak ere izan ditzakete, Si edo C inklusioak, mikrotutuak, hutsune hexagonalak, polimorfoak, etab. Dislokazio hauek normalean tamaina handikoak dira.

SiC gailuak fabrikatzeko arazo nagusietako bat "micropipe" edo "pinholes" izenez ezagutzen diren hiru dimentsioko mikroegiturak dira, normalean 30-40um eta 0,1-5um-koak hurrenez hurren. Mikrohodi hauek 10-10³/cm²-ko dentsitatea dute eta geruza epitaxialean sar daitezke, gailu-hiltzaileen akatsak eraginez. Batez ere espiro-dislokazioen multzokatzeak eragiten ditu eta SiC gailuen garapenean oztopo nagusitzat hartzen dira.

Substratuaren mikrotubulu-akatsak hazkuntza-prozesuan geruza epitaxialean sortutako beste akats batzuen iturria dira, hala nola, hutsuneak, hainbat polimorforen inklusioak, bikiak, etab. Beraz, substratuaren materialaren hazkuntza-prozesuan egin beharreko gauzarik garrantzitsuena. tentsio handiko eta potentzia handiko SiC gailuetarako SiC kristal solteetan mikrotubuluen akatsen sorrera murriztea eta geruza epitaxialean sartzea saihestea da.

Mikrotudia hobi txiki gisa ikus daiteke, eta prozesuaren baldintzak optimizatuz "hobiak bete" ditzakegu, mikrohodiaren dentsitatea murrizteko. Literaturako hainbat ikerketek eta datu esperimentalek frogatu dute lurruntze-epitaxia, CVD-aren hazkuntza eta fase likidoko epitaxia mikrohodia bete dezaketela eta mikrohodiak eta dislokazioak sortzea murrizten dutela.

Semicorex-ek MOCVD teknika erabiltzen du mikrohodien dentsitatea modu eraginkorrean murrizten duten SiC estaldurak sortzeko, kalitate goreneko produktuak lortzeko. Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com