Dummy Wafer-en Sarrera Labur bat

Erdieroaleen fabrikazio aurreratuak prozesuko hainbat urrats ditu, besteak beste, film meheen deposizioa, fotolitografia, akuafortea, ioien ezarpena eta leunketa mekaniko kimikoa. Prozesu honetan zehar, prozesuaren akats txikiek ere eragin kaltegarria izan dezakete azken erdieroaleen txiparen errendimenduan eta fidagarritasunean. Horregatik, erronka garrantzitsua da prozesuen egonkortasuna eta koherentzia mantentzea, baita ekipoen monitorizazio eraginkorra egitea ere. Dummy waferak erronka horiei aurre egiten laguntzen duten tresna erabakigarriak dira.

Dummy waferak benetako zirkuiturik daramaten eta azken txiparen ekoizpen-prozesuan erabiltzen ez diren obleak dira. Hauekobleakmarka berriak, maila baxuagoko probako ostia edo berreskuratutako ostia izan daitezke. Zirkuitu integratuak fabrikatzeko erabiltzen diren produktuen oble garestien aldean, normalean erdieroaleen ekoizpenerako ezinbestekoak diren produkzioarekin lotutako hainbatetarako erabiltzen dira.

Dummy Waferen aplikazioak

1.Prozesuaren kualifikazioa eta sintonizazioa

Ostia finkoak egoera hauen aurretik probak egiteko erabiltzen dira prozesuen egonkortasuna eta ekipoen errendimendua betetzen dela ziurtatzeko, hala nola prozesu ekipamendu berriak martxan jarri aurretik, lehendik dauden ekipoen mantentze-lanak edo osagaiak ordezkatu ondoren eta prozesu-errezeta berrien garapenean. Ekipoen errendimenduaren egiaztapena eta prozesu-parametroen doikuntza zehatza arrakastaz osa daitezke oble finkoen prozesatzeko emaitzak aztertuz, eta horrek produktuen obleen galera eraginkortasunez murrizten du eta enpresen ekoizpen-kostuak murrizten ditu.

2.Ekipoak girotzea eta berotzea

Erdieroaleen prozesu-ekipo askoren ganbera-inguruneak (adibidez, lurrun-deposizio kimikoko ekipoak (CVD), lurrun-deposizio fisikoko ekipoak (PVD) eta grabatzeko makinak) eragin handia du prozesatzeko emaitzetan. Adibidez, ganbararen barruko hormetan estaldura-egoerak eta tenperatura-banaketak egoera egonkor batera iritsi behar dira. Ostia finkoak maiz erabiltzen dira prozesu-ganberak baldintzatzeko eta ganberen barne-ingurunea (adibidez, tenperatura, atmosfera kimikoa eta gainazaleko egoera) egonkortzeko, eta horrek modu eraginkorrean saihesten ditu produktuen obleen lehen lotearen prozesuko desbideraketak edo akatsak, ekipoak egoera optimoan funtzionatzen ez duelako.

3.Partikulen jarraipena eta kutsadura kontrola

Erdieroaleen fabrikazioak garbitasun-eskakizun oso handiak ditu; nahiz eta partikula txikien kutsadura txiparen porrota ekar dezake. Ekipoan sartutako oble finkoen gainazalean itsasten diren partikulak aztertuz, ekipoaren garbitasuna ebaluatu daiteke. Horrela, produktuen obleak kutsaduratik arrakastaz babestu daitezke kutsadura-iturri posibleak berehala identifikatuz eta garbiketa- edo mantentze-prozedurak ezarriz.

4.Slot betetzea lotearen uniformetasunerako

Prozesu-ganberan gas-fluxua, tenperatura banaketa eta erreaktiboen kontzentrazioa lortzeko, karga osoko funtzionamendua ohikoa da loteen prozesatzeko ekipoetan, hala nola difusio-labeak, oxidazio-labeak edo hezea garbitzeko deposituak. Ostia finkoak produktu-ostia kopuru nahikorik ez duten ostia-ontziko zirrikitu hutsak betetzeko erabiltzen dira, eta horrek ertz-efektua murrizten du eta produktu-ostia guztien prozesatzeko baldintza koherenteak bermatu ditzake, bereziki ostia-ontziaren ertzetan daudenentzat.

5.Leunketa Mekaniko Kimikoen (CMP) Prozesuen egonkortzea

Dummy wafers CMP prozesuaren tratamenduaren aurreko fasean ere erabil daitezke prozesuaren egonkortasuna mantentzeko. Ostia finkoekin egin aurretik egindako probak leuntzeko padaren zimurtasuna eta porositatea optimizatzen ditu, prozesuaren ziurgabetasunak minimizatzen ditu abiarazteko egonkortze fasean edo itzali aurreko trantsizio fasean, eta minda hornidura anormalek eta buru diafragmaren higadurak eragindako obleen marradurak eta akatsak murrizten dituzte.

Semicorex-ek kostu-eraginkorra eskaintzen duSiC finko obleak. Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com