Zein da foku-eraztunen funtzioa?

Foku-eraztunak funtsezko osagaiak dira erdieroaleen grabaketa-prozesuen uniformetasuna eta egonkortasuna bermatzeko. Eremu elektriko eta termikoen kontrol zehatzaren bidez, fokatze-eraztunek plasma kontzentratu dezakete oblearen gainazalean, oblearen kokapen guztietan grabaketa emaitza koherenteak bermatuz.

Foku-eraztunen funtzioak

1. Aguafortearen uniformetasuna hobetzea

Grabaketa prozesuan, foku-eraztunek plasma kontzentratu dezaketeostiagainazalean, plasma dentsitate uniformea, ioien bonbardaketa angelua eta energia mailak eraginkortasunez bermatzen ditu obleen ertzean eta erdialdean. Eremu elektrikoaren banaketa zuzentzen dute oblearen ertzean, ertz-efektuek eragindako grabaketa-abiadura, dimentsio kritikoa eta morfologia-aldaerak murriztuz, eta horrela grabaketaren koherentzia bermatzen dute oblearen gainazal osoan. Fokatze-eraztuna gehiegi gastatuta badago edo foku-eraztunrik ez badago, plasma oblearen ertzetik hedatuko da, azken finean, ertzaren eta erdiko eskualdeen arteko lerro-zabaleran ez-konformatzen diren desbideratzeak eraginez.

2. Babestu chuck elektrostatikoa

Foku-eraztunak, normalean, kaska elektrostatikoen obleen eramailearen gainazaletik kanpo instalatzen dira, plasma bonbardaketa eta korrosioaren eraginpean zuzenean. Zatika honek hesi fisiko gisa ezartzen du grabaketa-prozesuan plasma elektrostatikoekin kontaktuan jartzea saihesteko, eta horrela plasma kaltetzeko arriskua nabarmen murrizten da. Foku-eraztunek grabaketa-prozesuan sortutako azpiproduktuek txorrota elektrostatikoetara atxikitzea saihestu dezakete, eta, horrela, txondorraren kutsadurak eta buxatzeak eragindako errendimenduaren degradazioa saihesten da. Horrek asko hedatzen du txorrota elektrostatikoen mantentze-zikloa eta bizi-iraupena, ekipoen mantentze- eta ordezkapen-kostuak murriztuz.

Foku-eraztunak normalean purutasun handikoak dirakuartzoa, silizioaetasilizio karburoamaterialak. Beren errendimendu integral bikainari esker, silizio-karburozko materialak apurka-apurka punta-puntako grabaketa-prozesuetarako aukera nagusi bihurtzen dira. Txinan erdieroaleen foku eraztun hornitzaile fidagarri gisa, Semicorex-ek kalitate handikoa eskaintzen dusilizio karburoa foku eraztunakhainbat tamainatakoa, akuaforte-ekipoen eskakizun desberdinetara egokitzeko. Semicorex-ek edozein unetan onartzen ditu zure kontsultak eta erosketak.