Zergatik bihurtu dira labe bertikalak aukera nagusia?

Labe bertikalak erdieroaleen fabrikazioaren tratamendu termikorako bereziki diseinatutako tenperatura altuko berogailuak dira. Labe bertikaleko sistema osoa tenperatura altuko erresistenteez osatuta dagolabeko hodia, berogailu-elementua, tenperatura kontrolatzeko sistema, gasa kontrolatzeko sistema eta obleen euskarria egitura. Labe bertikalek erdieroaleen prozesu kritikoak erraztu ditzakete, besteak beste, silizioaren oxidazioa, difusioa, erretiroa eta geruza atomikoaren deposizioa (ALD) gas berezien (adibidez, oxigenoa, hidrogenoa, nitrogenoa, etab.) tenperatura altuko baldintzetan sartuz.

Erdieroaleen fabrikazioan tratamendu termikoko ekipoen bilakaeran, labe bertikalak tratamendu termikoko prozesuetarako aukera nagusi bihurtu dira, haien hiru abantaila nagusiengatik.

1. Espazioaren aprobetxamenduaren ikuspegitik, labe bertikalak hodi bertikalen eta ostia bertikalen ontzien konbinazio diseinua hartzen dute. Prozesatzeko ahalmen beraren pean, solairuko espazioaren eskakizuna labe horizontalen % 50-60 baino ez da, bereziki egokia gela garbien azalera-unitateko ekoizpen-ahalmenaren dentsitatea hobetzeko 450 mm-ko obleen hedapenaren joeran. Pilatze bertikal modularraren bidez, gailu bakar batek kudeatu ditzakeen obleen kopurua % 40 handitu da, eta azalera-unitateko irteera-eraginkortasuna labe horizontalarena baino nabarmen hobea da.

2. Labe bertikalek obleen posizio horizontalak lortzen dituzte hiru puntuko zirrikitu euskarien bidez. Aire-fluxu bertikalarekin konbinatuta, konfigurazio honek tenperatura-gradiente uniformeagoak eta estres termikoen banaketa simetrikoa eskaintzen ditu labearen barruan, obleen deformazio-arriskua % 30 baino gehiago murriztuz. Bereziki egokia da prozesu termiko sentikorretarako, hala nola K altuko jalkitze dielektrikorako eta ioi-inplantaziorako errezistatzeko. Aitzitik, labe horizontalen kokapen bertikalak obleen ertzetan tenperatura-aldaketak eragin ditzake eta tokiko tentsio-kontzentrazio arriskua areagotzen du.

3. Obleen manipulazio automatizatuaren erosotasuna labe bertikalen beste abantaila kritiko bat da. Labe horizontalek beso robotikoak behar dituzte jasotzekoobleakorientazio bertikalean, eta horrek kokapen-zehaztasunari eta estutze-indarraren kontrolari buruzko baldintza zorrotzak eskatzen ditu. Ostia hausteko arriskua areagotzen dute funtzionamendu-desberdintasunen ondorioz. Labe bertikalean, obleak horizontalean jartzen dira. Beso robotikoak ukipenik gabeko manipulazioa lor dezake hutsean xurgatzearen bidez. Kokapen bisualeko sistemarekin konbinatuta, manipulazioaren zehaztasuna ± 0,1 mm-ra hobetzen da, automatizazio maila orokorra asko hobetuz.