Silizio karburoen txalupa

Wafer fabrikazioan tenperatura handiko prozesu bakoitzaren atzean jokalari isila baina erabakigarria da: txalupa. Silikonazko ogitartekoa zuzenean jartzen duen garraiolari gisa, silizioaren prozesamenduan, haren materiala, egonkortasuna eta garbitasuna zuzenean lotuta daude azken txiparen errendimenduarekin eta prozesuaren egonkortasunarekin. Garraiolariaren hainbat materialen artean,Silizio karburoa (sic)Itsasontziek kuartzozko irtenbide tradizionalak ordezkatzen ari dira pixkanaka, prozesu aurreratuetarako eta goi mailako ekipoetarako irtenbide hobetsia bihurtuz.

Zergatik sic wafer itsasontziak?

7nm-tik azpitik dauden prozesuen nodoen aurrerapenarekin eta tenperatura handiko prozesuaren hedapenarekin, laukote tradizionalen gaineko ontziak gero eta borrokan ari dira egonkortasun termikoari, partikulen kontrolari eta bizimoduaren kudeaketari dagokionez.

Silizio karburoen txalupak, ordea, pixkanaka protagonismoa lortzen ari dira abantaila hauek direla eta:

1. Tenperatura altuetan:

Epe luzeko 1350-1600 ºC-ko epe luzeko tenperaturak eskaintzen dituzte, CVD, difusioa eta barneratzea bezalako prozesu nagusiak erraz kudeatzen dituzte. 1800 ºC-ko tenperaturarekiko esposizio laburrak ez du leuntzea edo deformaziorik erakusten, goi-mailako ekipoetarako egokiak dira, hala nola kristal silizioko karburo bakarreko labeak.

2. Hedapen eta shock termiko altuko egonkortasuna:

Hedapen termikoaren koefiziente txikiarekin, tenperatura azkar handitu eta gutxitu egin daitezke, estres termikoek eragindako egiturazko pitzadura minimizatuz. Tenperatura altuko, giro konplexuak (hidrogenoa, nitrogenoa, amoniakoa eta fluoruroak ere) morfologia eta errendimendu bikainak mantentzen dituzte.

3.Clean gainazala eta kutsadura oso baxua:

Material garbitasun altua metalezko ezpurutasun minimoekin. Gainazal txikiko zimurtasuna, silizioko ogiak bigarren mailako kutsadura prebenitzea; Gainazaleko zimurtasun kontrol bikaina, 0,1μm-ko Ra-rekin, partikulen isurketa kendu eta prozesu aurreratuen eskakizunak betetzen ditu;

4. Pieza moldura, zehaztasun mekanikoko txalupa egiturak zuzenean eratu daitezke molderik gabe3D inprimaketa, moldeen beharra ezabatuz, pertsonalizazio eraginkortasuna nabarmen hobetuz; Bost ardatzek mekanizazio eta alanbre mozteko teknologiarekin konbinatuta, itsasontziaren hortzak lur askorik gabekoak dira, ogitoreetan marradurak saihestuz eta manipulazio automatizatu leuna bermatuz;

5. Indarra eta bizitza luzea: 

Itsasontzi bakar batek karga-indarra handia du eta aldi berean dozenaka 12 hazbeteko ogitoreei laguntza eman diezaieke. Quartzoontzi tradizionalen aldean, itsasontzien batez besteko bizimodua 5-10 aldiz luzeagoa da, ekipoen aldaketa maiztasuna eta jabetza osoa murrizteko.

Aplikazioaren agertokia

Egokitasun zabalaSilizio karburoen txalupakAplikazioa erdieroaleen eremutik haratago hedatzen da tenperatura handiko prozesuaren eszenatokietatik, energia material berriak, LED fabrikazioa eta energia nuklear ikerketa.

Erdieroaleen industria

Oxidazioa, difusioa, CVD gordailua eta ioi inplantazioa bezalako funtsezko prozesuetarako egokia da.

Industria fotovoltaikoa

Topcon eta HJT bezalako bateriaren teknologia sortzen ari direnean, ogitarteko itsasontziak tenperatura handiko labeetan erabiltzen dira, hala nola LPCVD eta barneratzea, energia-eraginkortasuna eta bihurketa tasak hobetzen laguntzen dutenak.

Hirugarren belaunaldiko erdieroaleak

LEDetan GAN eta SIC hazkunde epitaxiko prozesuetarako, zafiro edo silikoko karburo substratuak onartzen dituzte. Gas korrosiboak jasaten dituzte, hala nola NH₃ eta HCl, maiztasun handiko potentzia gailuak fabrikatzen lagunduz.

Energia material berriak eta ikerketa tenperatura handiko plataforma

Litioaren bateria katoduen materialen erreakzio sintering eta industria nuklearren materialen bero tratamendua onartzen du, beroarekiko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia eta garbitasuna uztartuz.

Zemorxak garbitasun handia eskaintzen duNeurri pertsonalizatuak. Galderarik baduzu edo xehetasun gehiago behar izanez gero, ez izan zalantzarik gurekin harremanetan jartzeko.

Harremanetarako telefonoa # + 86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semiceRex.com