Zer da SOI

Silicon-on-insulator (SOI) nanoteknologiaren garaian dauden silizio monokristalinoaren materialak ordezkatzeko soluzioetako bat da eta Moore-ren Legearen joerari eusteko tresna nagusia da. Silicon-on-insulator, ontziratu gabeko silizio tradizionala substratu "ingeniaritza" batekin ordezkatzen duen substratu-teknologia, 30 urte baino gehiago daramatza aplikazio espezializatuetan erabiltzen, hala nola, sistema militar eta espaziala elektronikoa, non SOI abantaila paregabeak dituen bere bikainagatik. erradiazio-erresistentzia eta abiadura handiko ezaugarriak.

SOI materialak SOI teknologiaren garapenaren oinarria dira, eta SOI teknologiaren garapena SOI materialen etengabeko aurrerapenaren araberakoa da. Kalitate baxuko eta kalitate handiko SOI materialen falta izan da SOI teknologiak eskala handiko industria-ekoizpenean sartzeko muga nagusia. Azken urteotan, SOI materiala prestatzeko teknologiaren heldutasunarekin, SOI teknologiaren garapena mugatzen duen material arazoa pixkanaka konpontzen ari da, azken finean, SOI materiala prestatzeko teknologia mota bi barne hartzen dituena, hots, Speration-by-oxygen implantation (SIMOX) eta lotura teknologia. Lotura-teknologiak Bond and Etch back (BESOI) teknologia tradizionala eta M. Bruelek, Frantzian SOITEC-en sortzaileetako batek proposatutako hidrogeno ioien injekzioa eta lotura konbinatzen dituen Smart-cut teknologia, baita Simbond SOI materialaren prestaketa konbinatuz. Meng Chen doktoreak 2005ean proposatutako oxigenoaren isolamendua eta lotura. Teknologia berriak oxigeno-injekzioaren isolamendua eta lotura uztartzen ditu.