2023-04-27
Zer da aCVD labea?
CVD (Chemical Vapor Deposition) labea erdieroaleen industrian erabiltzen den labe mota bat da, material ezberdinetako film meheak substratu batean uzteko. Prozesua hutsean edo presio baxuko ingurunean egiten da, substratuaren materialarekin erreakzionatzen duen gas erreaktibo bat erabiliz, nahi den film mehea osatzeko. CVD labea mikrotxipak, eguzki-zelulak eta beste gailu elektroniko batzuk ekoizteko tresna kritikoa da.
Nola funtzionatzen du CVD labe batek?
CVD labeaganbera baten barruan presio baxuko ingurunea sortuz eta gas erreaktibo bat ganbera sartuz funtzionatzen du. Gasak substratuaren materialarekin erreakzionatzen du eta film mehe bat sortzen du substratuaren gainazalean. Prozesua tenperatura altuetan egiten da, normalean 500 °C eta 1200 °C artean, metatzen den material motaren arabera.
Substratuaren materiala labearen ganberaren barruan jartzen da eta ganbera zigilatu egiten da. Ondoren, gas erreaktiboa ganbaran sartzen da eta tenperatura altura berotzen da. Gas molekulek substratuaren materialarekin erreakzionatzen dute, eta sortzen den produktuak film mehe bat sortzen du substratuaren gainazalean.
Zeintzuk dira CVD labearen aplikazioak?
CVD labeaerdieroaleen industrian aplikazio sorta zabala du, besteak beste:
1. Silizio dioxidoa, silizio nitruroa eta mikrotxiparen fabrikazioan erabiltzen diren beste material dielektrikoen deposizioa.
2. Mikrotxipak ekoizteko erabiltzen diren polisiliziozko eta beste material eroaleen metaketa.
3.Mikrotxip baten geruza ezberdinen arteko elkarkonexioetan erabiltzen diren metalezko filmak, hala nola aluminioa eta kobrea, jalkitzea.
4. Eguzki-zelulak ekoizteko film meheen deposizioa.
5. Higadura-erresistentzia duten piezak eta tresnak egiteko estaldurak jartzea.
Laburbilduz,CVD labeaErdieroaleen industriarako tresna kritikoa da, mikrotxipak, eguzki-zelulak eta beste gailu elektroniko batzuk ekoizteko aukera ematen duena. Ganbera baten barruan presio baxuko ingurunea sortuz eta substratuaren materialarekin erreakzionatzen duen gas erreaktibo bat sartuz funtzionatzen du, film mehe bat osatuz. Bere aplikazioak zabalak eta askotarikoak dira, eta teknologia modernorako tresna erabakigarria da.